静电基础知识课题.ppt

* * * * * * * * * * * * * * * * * BOE Copyright ? 2008 Company Confidential ESD入门相关培训 制造Test科 Contents 第一章 静电基本概念 1.1 静电的定义与不同类型的电 1.2 静电的产生 1.3 静电场 1.4 静电屏蔽、导静电、静电耗散、静电绝缘 材料的划分 1.5 摩擦分离起电的极性排列与难起静电材料 1.6 静电感应与静电屏蔽 第二章 电子工业中的静电问题 2.1 静电效应与静电对微电子制造业的危害 2.2 静电放电敏感器件 2.3 电子工业静电损害事例及统计 2.4 电子生产、使用环境中的静电源与静电防护场所 第三章 静电防护原理 3.1 静电耗散及泄漏 3.2 静电中和 3.3 静电屏蔽与接地 3.4 环境增湿 3.5 电子产品ESD的防护设计 第四章 防静电工作区(EPA)的构成和技术要求 4.1 EPA的构成 4.2 EPA内的接地与防雷 第五章 EPA的防静电工艺与质量管理 5.1 EPA的防静电工艺及要求 5.2 EPA的质量管理与企业ESD防护培训 第六章 EPA防静电系统的检验 6.1 电阻的测试与电阻率的计算 6.2 静电电压衰减时间的测试 6.3 静电屏蔽性能的检验 6.4 摩擦起电电压与EPA系统静电电位测试 6.5 静电电量测试与计算 6.6 各类防静电产品、工程的测试和时效检验 第七章 静电放电模型与器件、设备ESD敏感度测试 7.1 静电放电模型与ESD敏感度测试 7.2 静电放电模拟简介 第一章 静电基本概念 -- 静电(Electrostatic，static electricity) 通俗地来说，静电就是静止不动的电荷。它一般存在于 物体的表面。是正负电荷在局部范围内失去平衡的结果。静电是通过电子或离子转移而形成的。 静电可由物质的接触和分离、静电感应、介质极化和带电微粒的附着等物理过程而产生。 静电的定义 静电的产生与静电效应 通常任何物体所带有的正负电荷是等量的，当与其他物体摩擦、接触，并由于机械作用分分离时，因两种物体摩擦 起点序列不同，在一种物体上积聚正电荷，另种物体则积聚负电荷，在各物体上产生静电，并在外部形成静电场。 起电方式：物体相互摩擦，电效应，压电效应，导体（或电介质）的静电感应。 静电荷所产生的静电场对电子工业影响最大的三种物理效应： 1）静电荷产生的电场力 2）静电放电（ESD） 3）静电感应 静电场 (Electro-Static Field) -- 不同静电电位的静电充电表面和另一个表面之间的电压变化。 第一章 静电基本概念 接地材料 (Grounded Material) -- 像地面一样能吸收多量静电的System或材料。 绝缘材料（Insulative Materials） --是表面电阻大于1012?/sq的材料。 抗静电材料（Anti-Static Material） -- 是表面电阻109 ? R ? 1012?/sq的材料。在物质本身或与其他物质分离时具有抑制微少量静电和 摩擦电子的特性。用于普通材料的Tube、样品的包装箱、作业场所的塑料帘儿。 导电材料（Conductive Materials） --是表面电阻低于106?/sq的材料。导电材料并非一定是防静电材料，主要用于产品托盘、搬运BOX、 保管箱等。 除静电材料（Static Dissipative Materials） -- 是表面电阻106 ? R ? 109?/sq的材料。此材料用于除静电用地板MAT或作业台MAT. 静电感应 第一章 静电基本概念 静电屏蔽及接地通常用于对高压电源产生的静电场屏蔽、某些对静电极敏感电路的屏蔽，从而避免静电场对ESDS器件和ESDS组件的感应和静电放电产生的宽频带干扰。 屏蔽的作用是通过将一个区域封闭起来的壳体来实现的。 只有将静电屏蔽体接地才能保证屏蔽体上感应的静电荷泄漏，使屏蔽体内的电路不受静电场干扰。 静电屏蔽和接地 第二章 电子工业中的静电问题 静电对电子生产制造业的危害 1）吸附尘埃 2）静电放