原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
蚀刻速率影响因素;影响蚀刻速率的因素;蚀刻原理;比重对蚀刻速率的影响;现蚀刻工艺的比重设定值为1.30。
在现有的条件基础上，提高比重到1.305-1.31之间，可提高单位时间的蚀刻速率。;ORP值对蚀刻速率的影响;蚀刻温度对蚀刻速率的影响;蚀刻温度改变的其他影响;游离盐酸量对蚀刻速率的影响; Cl-提高蚀刻速率的原因
CuCl+2Cl-=(CuCl3）2-
提高Cl-浓度可显著提高蚀刻速率。;
;不同浓度的游离酸的影响; chemcut给的蚀刻参数
ORP 540mv to 560mv
游离酸 1N to 2N
比重 32?Be (1.28) to 34?Be(1.31)
温度 130?F(54?C)
实际使用数值
ORP 550±20mv
游离酸 1.45N（配槽值）屏显值 1.15N
比重 1.28 to 1.30
温度 130?F(54?C)
其他资料数值
ORP 530mv
??离酸 6N（2-3N）
比重 1.300
温度 40?C to 55?C;检测方法;药水的喷压;蚀刻提速可能调节的参数;蚀刻提速的局限性;蚀刻速度调节测试操作
文档评论（0）