12-5.3压电式传感器教材.ppt

第 五章 电动势式传感器原理与应用;5.3.1 压电式传感器的工作原理 5.3.2 压电元件的等效电路及信号测量电路 5.3.3 压电式传感器的应用;正压电效应（顺压电效应）：某些物质在沿一定方向受到压力或拉力而发生改变时，其表面上会产生电荷；若将外力去掉时，它们又重新回到不带电的状态，这种现象称为正压电效应。 逆压电效应（电致伸缩效应）：在压电材料的极化方向上，如果加以交流电压，压电片能产生机械振动，即压电片在电极方向上有伸缩的现象，压电材料的这种现象称为逆压电效应。 压电材料：石英，压电陶瓷;1. 石英晶体的压电效应; (a) 晶体外形； (b) 切割方向； (c) 晶片 ;纵向轴z称为光轴，经过六面体棱线并垂直于光轴的轴x称为电轴，与x和z轴同时垂直的轴y称为机械轴。;通常把沿电轴x方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“纵向压电效应”， 而把沿机械轴y方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“横向压电效应”。 而沿光轴z方向的力作用时不产生压电效应。 ;;;;;单元组体中构成石英晶体的硅离子和氧离子，在垂直于z轴的xy平面上的投影，等效为一个正六边形排列。 图中“＋”代表硅离子Si4+， “－”代表氧离子O2-。 ;当石英晶体未受外力作用时，正、负离子正好分布在正六边形的顶角上，形成三个互成120°夹角的电偶极矩P1、P2、P3。;;;在y、z方向上的分量为: (P1+P2+P3)y = 0 (P1+P2+P3)z= 0;;当晶体受到沿x方向的拉力（Fx ＞0）作用时，其变化情况如图5-3（c）所示。电偶极矩P1增大， P2、 P3减小，此时它们在x、y、z三个方向上的分量为 (P1 +P2 +P3) x0 (P1+ P2+ P3)y =0 (P1 +P2 +P3)z =0 在x轴的正向出现负电荷，在y、z方向依然不出现电荷。;;若从晶体上沿y方向切下一块如下图所示晶片，当在电轴方向施加作用力 时，在与电轴x垂直的平面上将产生电荷Qx，其大小为 式中： ——x方向受力的压电系数； ——作用力。 若在同一切片上，沿机械轴y方向施加作用力 ，则仍在与x轴垂直的平面上产生电荷Qy，其大小为： ;① 当晶片受到x方向的压力作用时，qx只与作用力Fx成正比，而与晶片的几何尺寸无关； ② 沿机械轴y方向向晶片施加压力时，产生的电荷是与几何尺寸有关的； ③ 石英晶体不是在任何方向都存在压电效应的； ④ 晶体在哪个方向上有正压电效应，则在此方向上一定存在逆压电效应； ⑤ 无论是正或逆压电效应，其作用力（或应变）与电荷（或电场强度）之间皆呈线性关系。;压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。;压电陶瓷的压电效应;5.3.1 压电式传感器的工作原理;压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料，材料的内部晶粒有许多自发极化的电畴，它有一定的极化方向。 无电场作用时，电畴在晶体中分布杂乱分布，极化相互抵消，呈中性。;图 压电陶瓷的极化 (a) 未极化; (b) 极化后 ;陶瓷片极化 ;如果在陶瓷片上加一个与极化方向平行的外力F，陶瓷片将产生压缩形变（图中虚线），片内的正、负束缚电荷之间的距离变小，电畴发生偏转，极化强度也变小。原来吸附在电极上的自由电荷，有一部分被释放，而出现放电现象。 当外力撤消后，陶瓷片恢复原状，片内的正、负电荷之间的距离变大，极化强度也变大，因此电极上又吸附一部分自由电荷而出现充电现象。 由机械能转变为电能的现象 就是正压电效应。 ;;5.3.1压电式传感器的工作原理 5.3.2压电元件的等效电路及信号测量电路 5.3.3压电式传感器的应用; 压电传感器在受外力作用时，在两个电极表面将要聚集电荷，且电荷量相等，极性相反。这时它相当于一个以压电材料为电介质的电容器，其电容量为;当压电元件受外力作用时，两表面产生等量的正、负电荷Q，压电元件的开路电压(认为其负载电阻为无穷大)U为 ;5.3.2 等效电路及信号测量电路;;（二）信号测量电路;（二）信号测量电路 使压电传感器测量误差小到一定数值内，要求其负载电阻必须有很大的数值。 在压电传感器输出端接入高输入阻抗的前置放大器后再接其他电路。 前置放大器的两个作用： （1）放大压电传感器的微弱信号 （2）把传感器的高阻抗输出变换为低阻抗输出。 前置放大器的形式： 电压放大器，其输出电压与输入电压（传感器的输出电压）成正比电荷放大器，其输出电压与输入电荷成正比;（1）电压放大器;