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1 第1章 真空技术基础
本课程讨论的对象：;薄膜材料与技术 ;1 真空技术基础;1 真空技术基础;1 真空技术基础;1 真空技术基础;1 真空技术基础;1 真空技术基础;1 真空技术基础;1 真空技术基础;1 真空技术基础;1 真空技术基础;;1 真空技术基础;1 真空技术基础;1 真空技术基础;1 真空技术基础;1 真空技术基础;因此：P ? 时，气体稀薄化 ? 气体导热能力? ? Qg ? ? 相同灯丝电流下 Ql ? ? 热电偶温度 T ?
? 电压表上测得的热电势 V ?
? 特定气压范围内（102~10-1 Pa 间），成立： ！ ;工作原理：
1）由两组灯丝组成，一组灯丝置于密封定压空间内作为参 考，另一组与待测压腔体相通。
2）两组灯丝同时被视为两个电阻组成Wheatstone电桥。
3）两组灯丝同时被通电加热，若其所处环境压力不同（空 气稀薄程度不同）导致热耗散速度也不同，因而灯丝电 阻会因温度不同而产生差异，流过之电流随之改变。
4）因参考端气压固定，因而温度、电阻、流过电流不变， 借助其补偿作用可比对求出待测腔体内的气体压力。;1 真空技术基础;1 真空技术基础;1 真空技术基础;1 真空技术基础;1 真空技术基础
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