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蓝宝石晶体介绍 =|*mWu7 ?1、蓝宝石晶体介绍?????????? :$+aPBkF ? N- Q* y+ R5 P* C????????蓝宝石的组成为氧化铝(Al2O3)，是由三个氧原子和两个铝原子以共价键型式结合而成,其晶体结构为六方晶格结构.它常被应用的切面有A-Plane,C-Plane及R-Plane.由于蓝宝石的光学穿透带很宽,从近紫外光(190nm)到中红外线都具有很好的透光性.因此被大量用在光学元件、红外装置、高强度镭射镜片材料及光罩材料上，它具有高声速、耐高温、抗腐蚀、高硬度、高透光性、熔点高（2045℃）等特点，它是一种相当难加工的材料，因此常被用来作为光电元件的材料。目前超高亮度白/蓝光LED的品质取决于氮化镓磊晶(GaN)的材料品质，而氮化镓磊晶品质则与所使用的蓝宝石基板表面加工品质息息相关，蓝宝石(单晶Al2O3 )C面与Ⅲ-Ⅴ和Ⅱ-Ⅵ族沉积薄膜之间的晶格常数失配率小，同时符合GaN 磊晶制程中耐???温的要求，使得蓝宝石晶片成为制作白/蓝/绿光LED的关键材料.4 C% ?) j9 V0 |. W2 B% y5 w2 [ C2zTxP[#:G ??????? 0 H1 f f9 h. z7 s 3l2d}KR ??????? 2、蓝宝石晶体的生长方法常用的有两种: iZ@R.% $ ?2 c: c7 } N: x0 H3 ~????????????1:柴氏拉晶法(Czochralski method),简称CZ法.先将原料加热至熔点后熔化形成熔汤，再利用一单晶晶种接触到熔汤表面，在晶种与熔汤的固液界面上因温度差而形成过冷。于是熔汤开始在晶种表面凝固并生长和晶种相同晶体结构的单晶。晶种同时以极缓慢的速度往上拉升，并伴随以一定的转速旋转，随着晶种的向上拉升，熔汤逐渐凝固于晶种的液固界面上，进而形成一轴对称的单晶晶锭. 2 p/ f1 ?8 x5 J0 {9 T3 @ k ysv moq ?????????????2:凯氏长晶法(Kyropoulos method),简称KY法,大陆称之为泡生法.其原理与柴氏拉晶法(Czochralskimethod)类似，先将原料加热至熔点后熔化形成熔汤，再以单晶之晶种(SeedCrystal，又称籽晶棒)接触到熔汤表面，在晶种与熔汤的固液界面上开始生长和晶种相同晶体结构的单晶，晶种以极缓慢的速度往上拉升，但在晶种往上拉晶一段时间以形成晶颈，待熔汤与晶种界面的凝固速率稳定后，晶种便不再拉升，也没有作旋转，仅以控制冷却速率方式来使单晶从上方逐渐往下凝固，最后凝固成一整个单晶晶碇.  jHePg V ?. J+ K6 Y% m$ ~0 m uBD*G:=d ?0 f4 c5 v, k. h- U2 O: `??c ; h- h6 w# N0 U+ l l!B4([~dT( ?, N2 h5 J6 E# l G7 k 3{~n* ?蓝宝石基片的原材料是晶棒,晶棒由蓝宝石晶体加工而成# h5 `% W5 a! _1 I7 a( H {=Dz{e2; ??????? [淘股吧] UCnPe@ ???C7 _7 b( @+ f( C7 W??n??????????广大外延片厂家使用的蓝宝石基片分为三种:, p, O, N* ^2 K# N2 M (Sh4XJm ??????? - O5 I2 h??S2 q2 h6 ?: x %fp %)kEs ??????? 1:C-Plane蓝宝石基板5 c, H( p6 J0 @3 T RN_\M1Jf} ?????????????这是广大厂家普遍使用的供GaN生长的蓝宝石基板面.这主要是因为蓝宝石晶体沿C轴生长的工艺成熟、成本相对较低、物化性能稳定,在C面进行磊晶的技术成熟稳定.  OX:Zo# ?3 i) D2 I) m6 C) [?????? 8*Ib. mp ? e0 m9 N, D) D5 a?????? 2:R-Plane或M-Plane蓝宝石基板 m}2IMzC ?3 q0 P8 l! W7 U$ ~2 B1 ~2 s????????????主要用来生长非极性/半极性面GaN外延薄膜,以提高发光效率.通常在蓝宝石基板上制备的GaN外延膜是沿c轴生长的，而c轴是GaN的极性轴，导致GaN基器件有源层量子阱中出现很强的内建电场，发光效率会因此降低，发展非极性面GaN外延，克服这一物理现象，使发光效率提高。??F. @. Y u$ B. m+ K5 U+ E LrOc V- ??????? Q)2-.bpe ?# }! k/ S- t$ v- O: e. B V6 a?????? 3:图案化蓝宝石基板(Patt