第8章半导体传感器课题.ppt

第8章 半导体传感器;１、气敏传感器概念及组成; （２）按结构分类;（3）半导体气敏传感器的分类　表8.1 ;３、半导体气敏材料与传感器发展概况 ;具有小的交叉灵敏度； 具有较高的灵敏度和较宽动态响应范围 性能稳定，传感器特性不随环境温度﹑湿度的变化而发生变化 ； 重复性好，易于维护等。 ;电阻型半导体气敏传感器工作机理可以用吸附效应来解释。 气体接触N型半导体时所导致的敏感器件阻值变化的情况，如图所示；;▲ 敏感元件固有电阻R０和工作电阻Rs;SA/B-传感器对A气体的选择性系数； KA－传感器在单纯A气体中的灵敏度 ； KB－气体传感器在单纯B气体中的灵敏度。; 半导体气敏传感器结构分为： 烧结型、薄膜型和厚膜型。;　直热式烧结型气体传感器; 采用陶瓷管做基底，将加热元件装入陶瓷管内，而测量电极、氧化物材料及催化添加剂则烧结在陶瓷管的外壁，加热元件经陶瓷管璧均匀地对氧化物敏感元件加热。 ; 以石英或陶瓷为绝缘基片，在基片的一面镀上加热元件。在基片的另一面镀上测量电极及氧化物半导体膜。 ;（3） 厚膜型气敏传感器;★厚膜型传感器制作工艺 是先将氧化物材料与一定比例的黏合剂混合，并加入适量的催化剂制成糊状物，然后将该糊状混合物用丝网印刷工艺印到已印制好加热元件和Pt电极的陶瓷基片上。待自然干燥后，置于高温中煅烧而成。;★ 上述三种气敏传感器的共同之处是皆附有加热 丝，加热的方式有直热式和旁热式。; SnO2气敏传感器特性： 电阻变化率与气体浓度变化关系; SnO2半导体气敏传感器温度特性;２、非电阻型半导体气敏传感器的结构;MOS二极管气敏传感器Ｃ－Ｖ特性;8.2 湿敏传感器;★ 相对湿度---- 空气中所含水蒸气分压和在相同温度下饱和水蒸气分压之比。;☆ 湿度量程:在规定的精度内能够测量的最大范围。;▲ 湿度温度系数 　　感湿特性曲线随环境温度变化而改变的特性参数 。其定义如下: Ｔ——绝对温度； Ｋ—感湿特征量； α一湿度温度系数， 其单位为％RH／℃ ;◆ 响应时间 　　在规定的环境温度下，由起始相对湿度达到稳定相对湿度时，??湿特征量由起始值变化到稳定相对湿度对应值所需要的时间。;◆ 湿滞回线和湿滞回差 传感器的吸湿特性曲线与脱湿特性曲线不一致而形成回线,称湿滞回线．;8.2.3 半导体陶瓷湿敏电阻;图8.12 半导体陶瓷湿敏电阻的负湿敏特性;(2) 正湿敏特性的半导体陶瓷工作机理;图8.13为半导体陶瓷湿敏元件的正湿敏特性．;2 常用半导体湿敏电阻 （1）烧结型半导体陶瓷湿敏电阻 半导体陶瓷湿敏传感器结构及等效电路示意图 ;（2）涂覆膜型Fe3O4湿敏元件 ,由金属氧化 物微粒经过堆积、粘结而成的材料; （3）ZnO-Cr2O3陶瓷湿敏元件，其结构是将多孔材料的电极烧结在多孔陶瓷圆片的两表面上，并焊上铂引线，然后将敏感元件装在有网眼过滤的方形塑料盒中并用树脂固定。;8.3 磁敏传感器; 电阻率的相对变化为：;2、磁敏电阻的形状 ;常见的磁敏电阻是圆盘形的，如图8.15.;3、磁敏电阻特性 在低磁场范围内，其电阻值与磁场强度的平方成正比关系；在高磁场范围内，其电阻值与磁场强度成线性关系。;1 结构 磁敏二极管(SMD)的结构;2 工作原理 ;图8.19 磁敏二极管工作原理;图8.19 磁敏二极管工作原理;3 磁敏二极管的主要特性;(2) 伏安特性;(3) 灵敏度;(4) 温度特性;磁敏二极管特点;8.3.3 磁敏三极管 ;8.4 色敏传感器（不讲）;8.4.1 半导体色敏传感器基本原理 ;光电器件常用量子效率来表征光生电子流与入射光子流的比值大小 理论证明，P区在不同结深时，其量子效率随波长而变化，特性曲线如图 Xj表示P结的深度 ;1.双色硅色敏器件工作原理 双色硅色敏器件的结构与其其等效电路如图8.25所示 利用不同结深的二极管的组合，就可构成测量特定波长的半导体色敏传感器 ;具体使用时，要对该色敏器件进行标定, 测定比值 如图8.26给出了不同结深色敏二极管的光谱响应曲线 ;2.三色硅色敏器件的工作原理 对于多波长组成的混合色光，特别是印刷物或颜料的颜色识别，必须用三色硅色敏器件 .如图8.27为一种全色色敏器件的结构示意图; 图8.27 全色色敏器件结构示意图 ;1 光谱特性;2、短路电流比—波长特性;8.5 半导体传感器的应用; QM-N5:对瓦斯敏感的气敏传感器; IC采用LC179型三模拟声报警专用集成芯片; RP设置报警阈值