第七章 光栅传感器.pptVIP

第7章　光栅传感器 ; 　 7.1　光栅基础7.1.1　光栅的分类及结构　　1. 光栅的分类　　光栅按其原理和用途可分为物理光栅和计量光栅。物理光栅刻线细密，利用光的衍射现象，主要用于光谱分析和光波长等的测量。在几何量计量中使用的光栅称为计量光栅。计量光栅主要利用莫尔现象实现长度、角度、速度、加速度、振动等几何量的测量。　　按其透射形式，光栅可分为透射式光栅和反射式光栅。刻划基面采用玻璃材料的为透射式光栅；刻划基面采用金属材料的为反射式光栅。;;　　2. 光栅的结构　　所谓光栅，是在刻划基面上等间距(或不等间距)地密集刻划，使刻线处不透光，未刻线处透光，形成透光与不透光相间排列构成的光电器件。光栅上的刻线称为栅线。栅线的宽度为a，缝隙宽度为b，一般取a=b，而w=a+b称为栅距(也称为光栅常数或光栅节距，是光栅的重要参数，栅线密度用每毫米长度内的栅线数表示，如100线／mm、250线／mm)。圆光栅还有一个参数叫栅距角γ或节距角，它是指圆光栅上相邻两条栅线的夹角。光栅的结构如图7.1所示。;;　　圆光栅有三种栅线形式：一种是径向光栅，其栅线的延长线通过圆心；另一种是切向光栅，其栅线的延长线与光栅盘的一个小同心圆相切；还有一种是其栅线为一簇等间距同心圆组成的环形光栅。圆光栅通常在圆盘上刻有1080～64 800条线。圆光栅栅线如图7.2所示。;7.1.2　莫尔条纹的原理　　计量光栅是利用莫尔现象来实现几何量的测量的。莫尔条纹是由主光栅和指示光栅的遮光与透光效应形成的(两只光栅参数相同)。主光栅用于满足测量范围及精度，指示光栅(通常是从主尺上裁截一段)用于拾取信号。将主光栅与指示光栅的刻划面相向叠合并且使两者栅线有很小的交角θ，这样就可以看到，在a-a线上两只光栅栅线彼此错开，光线从缝隙中透过形成亮带，其透光部分是由一系列菱形图案构成的；在b-b线上两只光栅栅线相互交叠，相互遮挡缝隙，光线不能透过形成暗带。这种亮带和暗带相间的条纹称为莫尔条纹。由于莫尔条纹的方向与栅线方向近似垂直，因此该莫尔条纹称为横向莫尔条纹。莫尔条纹原理如图7.3所示。;;7.1.3　莫尔条纹的特点　　1. 位移放大作用　　相邻两条莫尔条纹间距B与栅距w及两光栅夹角θ的关系为令k为放大系数，则;　　2. 运动对应的关系　　由图7.1知，若光栅栅距为w，刻线数为i，移动距离为x，则 x=i w (7.3)将式(7.3)代入式(7.1)中，有当i和θ一定时，B与移动距离x成正比。;　　3. 误差减小作用　　光栅在制作过程中必然会引入刻划误差。光电元件获取的莫尔条纹是指示光栅覆盖区域刻线的综合结果，对刻划误差有平均作用，从而能在很大程度上消除栅距的局部误差及短周期误差的影响。这是光栅传感器精度高的一个重要原因。　刻划误差是随机误差。设单个栅距误差为δ，形成的莫尔条纹区域内有N条刻线，则综合误差Δ为; 　7.2　光栅传感器的工作原理7.2.1　光电转换原理　　光栅传感器的光电转换系统由光源1、聚光镜2、光栅主尺3、指示光栅4和光电元件5组成，如图7.4(a)所示。当两块光栅作相对移动时，光电元件上的光强随莫尔条纹移动而变化，如图7.4(b)所示。在a处，两光栅刻线不重叠，透过的光强最大，光电元件输出的电信号也最大；在c处，光被遮去一半，光强减小；在b处，光全被遮去而成全黑，光强为零。若光栅继续移动，则透射到光电元件上的光强又逐渐增大，因而形成图7.4(c)所示的输出波形。;;7.2.2　莫尔条纹测量位移的原理　　当光电元件5接收到明暗相间的正弦信号时，根据光电转换原理将光信号转换为电信号。当主光栅移动一个栅距w时，电信号变化了一个周期。这样，光电信号的输出电压U可以用光栅位移x的正弦函数来表示，光电元件输出的波形为　　由式(7.6)可知，利用光栅可以测量位移量x的值。;7.2.3　辨向原理　　位移测量传感器如果不能辨向，则只能作为增量式传感器使用。为辨别主光栅的移动方向，需要有两个具有相差的莫尔条纹信号同时输入来辨别移动方向，且这两个莫尔条纹信号相差90°相位。实现的方法是在相隔B／4条纹间隔的位置上安装两个光电元件，当莫尔条纹移动时两个狭缝的亮度变化规律完全一样，相位相差π／2，滞后还是超前完全取决于光栅的运动方向。这种区别运动方向的方法称为位置细分辨向原理。辨向原理如图7.5所示。;;　AB与CD两个狭缝在结构上相差π／2，所以它们在光电元件上取得的信号必然相差π／2。AB为主信号，CD为门控信号。当主光栅作正向运动时，CD产生的信号只允许AB产生的正脉冲通过，门电路在可逆计数器中作加法运算；当主光栅作反方向移动时，CD产生的负值信号只让AB产生的负脉