电子探针及其应用2011论述.pptVIP

电子探针X射线显微分析 一、引言 电子探针X射线显微分析（简称电子探针显微分析）（Electron Probe Microanalysis，简称EPMA），它用一束聚焦得很细（50nm～１μｍ）的加速到5kV-30kV的电子束，轰击用光学显微镜选定的待分析试样上某个“点”（一般直径为1-50um），利用试样受到轰击时发射的X射线的波长及强度，来确定分析区域中的化学组成。 一、引言 EPMA是一种显微分析和成分分析相结合的微区分析，它特别适用于分析试样中微小区域的化学成分，因而是研究材料组织结构和元素分布状态的极为有用的分析方法。 一、引言 1949年法国Castaing与Guinier将一架静电型电子显微镜改造成为电子探针仪。 1951年Castaing的博士论文奠定了电子探针分析技术的仪器、原理、实验和定量计算的基础，其中较完整地介绍了原子序数、吸收、荧光修正测量结果的方法，被人们誉为EPMA显微分析这一学科的经典著作。 一、引言 1956年，在英国剑桥大学卡文迪许实验室设计和制造了第一台扫描电子探针。 1958年法国CAMECA公司提供第一台电子探针商品仪器，取名为MS-85。 现在世界上生产电子探针的厂家主要有三家，即日本岛津公司SHIMADZU、日本电子公司JEOL和法国的CAMECA公司。 一、引言 一、引言 一、引言 随着科学技术的发展，电子探针显微分析技术进