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高真空实验 一、获得真空 目前，真空泵可分为两种，外排型和内吸型．所谓外排型是指将气体排出泵体之外，如旋片式机械泵、扩散泵和分子泵等；内吸型是指将气体吸附在泵体之内的某一固体表面上，如吸附泵、离子泵和冷凝泵等．但无论何种泵，都不可能在整个真空范围内工作，图4.1.1标出了它们适应的工作范围．从图中可以看出，有些泵可直接从大气压下开始工作，但极限真空度都不高，如机械泵和吸附泵，通常这类泵用作前级泵；而有些泵则只能在一定的预备真空条件下才能开始正常工作，如扩散泵、离子泵等，这类泵需要前级泵配合，可作为高真空泵． ??? (1) 低真空的获得．获得低真空常用的方法是采用机械泵．机械泵是运用机械方法不断地改变泵内吸气空腔的容积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空的泵．机械泵的种类很多，目前常用的是旋片式机械泵． ??? 图4.1.2是旋片式机械泵的结构示意图，它是由一个定子和一个偏心转子构成．定子为一圆柱形空腔，空腔上装着进气管和出气阀门，转子顶端保持与空腔壁相接触，转子上开有两个槽，槽内安放两个刮板，刮板间有一弹簧．当转子旋转时，两刮板的顶端始终沿着空腔的内壁滑动．整个空腔放置在油箱内． ??? 工作时，转子带着旋片不断旋转，就有气体不断排出完成抽气作用．旋片旋转时的几个典型位置如图4.1.3所示．当刮板A通过进气口如图a所示的位置时开始吸气，随着刮板A的运动，吸气空间不断增大，到图b所示位置时达到最大．刮板继续运动，当刮板A运动到如图c所示位置时，开始压缩气体，压缩到压强大于一个大气压时，排气阀门自动打开，气体被排到大气中，如图d所示．之后就进入下一个循环． 蒸汽压较低而又有一定粘度的机械泵油的作用是作密封填隙，以保证吸气和排气空腔不漏气，另外还起润滑和帮助在气体压强较低时打开阀门的作用． ??? 显然，如果转子转速越快，则抽速越大．若令最大吸气空腔的体积为Vmax(L)，转子的转速为ω(r/s)，则泵的几何抽速为 ?????????? ???????????Smax = 2ωVmax(L/s)? ??????????????????　??? （4.1.1） 上式给出的是理想抽速，实际上是达不到的．这是因为在排气阀门和转子与定子空腔接触处有一个“死角”，如图4.1.3（d）所示，此空间的气体是刮板刮不出去的，称为“有害空间”或“极限空间”．有害空间的存在不仅影响了泵的极限压强Pu，也影响到泵的抽速S．设有害空间的体积为Vmin、压强为Pd，系统压强为P，则有 Pu= αPdVmin /Vmax????????????????????? ?????（4.1.2） ????????????????? ???????????S =Smax(1-Pu /P)? ??????????????????????????（4.1.3） 其中α是小于1的系数．通常，机械泵的极限压强为1.333～1.333×10-2 Pa． ? 二、测量真空 在选择真空计类型时，除考虑测量范围外，还应注意各种真空计的准确度、对工作条件的适应性、对被测环境的影响(如真空规头本身放气、吸气的影响)和压强读数是否与气体种类有关等。 压缩式真空计?　又称麦克劳计。它将汞提升，把体积为V、初始压强与被测压强P相同的气体压缩到末端封闭的毛细管1中，然后测量封闭毛细管1和比较毛细管2两者的汞液面高度差。根据理想气体等温压缩原理,封闭毛细管中的压强为PV/πr2h1，而比较毛细管上的压强仍为P,两者的压强差对应于汞液面高度差h，汞液面高度可由读数显微镜读出，如 V?πr2h1,则P埄πr2h1h/V，单位为毫米汞柱。麦克劳计不能测量可凝气体的压强。为了防止汞蒸气进入被测容器，一般用液氮冷阱隔离。麦克劳计笨重，汞蒸气对人体有害，主要作标准真空计用。在10-2帕和10-3帕时，它的精度分别可达±1％和±3％，高压强下精度更高。 电容薄膜真空计?　属弹性元件真空计。一弹性薄膜将规管真空室分为两个小室，即参考压强室和测量室。测量低压强 (P＜100帕)时，参考室抽至高真空,其压强近似为零。当测量室压强不同时，薄膜变形的程度也不同。在测量室中有一固定电极，它与薄膜形成一个电容器。薄膜变形时电容值相应改变，通过电容电桥可测量电容的变化从而确定相应压强值。为了防止薄膜发生蠕变，通常采用零位法测量，即在固定电极和薄膜之间加一直流电压，利用静电力补偿薄膜受压强差而产生的应力，使膜片保持零位。电容薄膜真空计可直接测量气体或蒸气的压强，测量值与气体种类无关、结构牢固、可经受烘烤，如对不同压强范围采用不同规头，可得到较高精度。电容薄膜真空计可用于高纯气体监测、低真空精密测量和压强控制，也可用作低真空测量的副标准。 热传导真