人工蓝宝石加工介绍.ppt

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2016-07-31 发布于湖北
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人工蓝宝石加工介绍

;蓝宝石晶体生长方法;;;;3 蓝宝石衬底加工流程; 蓝宝石晶棒制造工艺流程蓝宝石晶棒加工流程晶体晶棒; 蓝宝石基片制造工艺流程晶棒基片定向:在切片机上准确定位蓝宝石晶棒的位置,以便于精准切片加工切片:将蓝宝石晶棒切成薄薄的晶片研磨:去除切片时造成的晶片切割损伤层及改善晶片的平坦度倒角:将晶片边缘修整成圆弧状,改善薄片边缘的机械强度,避免应力集中造成缺陷抛光:改善晶片粗糙度,使其表面达到外延片磊晶级的精度清洗:清除晶片表面的污染物(如:微尘颗粒,金属,有机玷污物等) 品检:以高精密检测仪器检验晶片品质(平坦度,表面微尘颗粒等),以合乎客户要求 ;4 蓝宝石??板应用种类;蓝宝石结晶面示意图;图9:纳米图案化蓝宝石基板图;