清华大学测试技术第六章.ppt

第四章 被测量的获取 4.6 电感式传感器 定义：利用电磁感应原理，将被测的非电量转换成电磁线圈的自感或互感量变化的一种装量。 分类： 按照转换方式分类： 自感式； 互感式。 按照结构方式分类： 变气隙式； 变截面式； 螺管式 一、自感式 可变磁阻式 由电磁感应原理，则在其中产生磁通Φm，其大小与所加电流i成正比： 式中W－线圈匝数； L—比例系数，称为自感(H)。 又据磁路欧姆定律有 式中Wi－磁动势（A） Rm－磁阻（H-1） 将上式代入（4.22）得自感 当不考虑磁路的铁损且当气隙δ较小时，则该磁路的总磁阻 式中 l－铁芯的导磁长度(m); μ－铁芯磁导率 (H/m); A－铁芯导磁截面积,A=a×b(m2); δ －气隙宽(m); μ0－空气导磁率, μ0=4π×10-7(H/m); A0－空气隙导磁横截面积(m2) 忽略第一项情况下可得总磁阻Rm近似为 将上式代入（4.24）则有 当A0固定，变化δ时，L与δ成非线性变化关系（见图4.15曲线），此时传感器灵敏度 灵敏度S与δ的平方值成反比，由于不是常数，因此会产生非线性误差。因此这种传感器常规定在较小气隙变化范围内工作。则由（4.28）式得： 当气隙变化甚小即Δδδ0时，灵敏度S进一步近似为 S此时为一定值，输出与输入近似成线性关系。实际应用中常选取Δδ/δ≤0.1。这种传感器适宜于测量小位移，一般为0.001~1mm。 自感式传感器应用 图(a)测量透平轴与其壳体间的轴向相对伸长； 图(b)用于确定一磁性材料上非磁性涂覆层的厚度； 图(c)测量在一高压蒸汽管道中阀的位置。 涡流式 定义：当金属导体置于变化着的磁场中或者在磁场中运动时，在金属导体内部会产生感应电流，由于这种电流在金属导体内是自身闭合的，因此称之为涡电流或涡流。 原理：当线圈中通以一交变高频电流 时，会引起一交变磁通Ф。在靠近线圈的金属表面内部产生一感应电流i1，该电流i1即为涡流。根据楞次定律，由该涡电流产生的交变磁通Ф1将与线圈产生的磁场方向相反，亦即Ф1将抵抗Ф的变化。由于该涡流磁场的作用，会使线圈的等效阻抗发生变化，其变化的程度除了与两者间的距离δ有关外，还与金属导体的电阻率ρ、磁导率μ以及线圈的激磁电流圆频率ω等有关。 电涡流传感器与被测物体的等效电路 ： 图中金属导体被抽象为一短路线圈，它与传感器线圈磁性耦合，两者之间定义一互感系数M，表示耦合程度，它随间距δ的增大而减小。 电涡流传感器分类： 高频反射式； 低频透射式。 用途：测量位移、振动等物理量。 低频透射式涡流传感器：多用于测量材料的厚度 涡流传感器的测量电路一般有阻抗分压式调幅电路及调频电路。 涡流式电感传感器的应用： 用来测量位移和角度： 当图中的短路环相对于线圈1移动或转动时，由于产生的涡流作用，将影响磁通量的变化，该变化的量则正比于所移动的距离或转动的角度。 测量磁性材料或介质（液体或气体）的温度： 原理：导体的电阻率随温度变化而变化： ρ1－温度为t1时导体的电阻率； ρ0－温度为t0时导体的电阻率； α－导体的电阻温度系数。 当导体的电阻率随温度发生变化时，涡流传感器的输出亦将发生变化，其变化量正比于温度变化值。 二、互感式 互感式传感器亦称差动变压器式电感传感器。 原理： 电磁感应中的互感现象:当线圈W1-被输入有交流电流i1时，在线圈W2中则产生感应电动势e12，其大小正比于电流i1的变化率： 式中M为比例系数，也称互感（H），是两线圈W1和W2之间耦合程度的度量，其大小与两线圈的相对位置及周围介质的导磁率诸因素有关。 互感式传感器实质上就是一个变压器，其初级线圈接入稳定的交流激励电源，次级线圈被感应而产生对应输出电压。 由于次级常采用两个线圈接成差动型，故这种传感器又称差动变压器式传感器。 实际中应用较多的是螺管线圈形差动变压器。 差动变压器式传感器的特点 ： 测量精度高（可达0.1μm量级） ； 线性量程大（可达±100mm）； 稳定性好，使用方便。 用途： 直线位移的测量； 转动位移的测量； 借助于弹性元件也可将压力、重量等物理量转换成位移量，因此也可用于力的测量。 三、磁弹性测力传感器 由式（4.25）可知，此时由于不存在气隙而使磁阻变为 ，因此自感公式变为： 由于传感器的绕组（W）、截面积A和导磁长度l均不变化，因此自感L便是导磁率的单一函数。由此便可利用L的变化来测量应力的变化。 4.7 电容式传感器 定义：电容式传感器采用电容器作为传感元件，将不同物理量的变化转换为电容量的变化。 原理： 忽略边缘效