玻璃的减薄技术及不良影响.ppt

21 其它不良 电阻超标 原因： 酸残留 End 22 Thanks * * LOGO 玻璃的减薄（Slimming） 工艺 . Contents 减薄的作用 1 减薄工艺简介 2 常见的减薄不良 3 2 减薄的作用 1.减少占有的空间 2.使Glass达到一定的柔性 3 减薄工艺简介 蚀刻 激光 离子 4 稳流 渐开 减 薄 方 法 技术一：蚀刻 蚀刻工艺 以HF溶液作为蚀刻溶液 1.以固定流速 沿玻璃基材 垂直下流 2.蚀刻溶液依靠重力下流，蚀刻玻璃基材表面 。 5 Text in here 蚀刻 清洗 清洗 技术一：蚀刻 Slimming 6 减薄流程 7 减薄设备 其余组件： 供酸装置 HF酸浓度计 温度控制器 洗气装置 Loader单元 预清洗单元 蚀刻单元 清洗单元 干燥单元 Unloader单元 技术二：真空激光减薄 8 所谓真空激光减薄技术, 是指利用激光器发 出的脉冲激光束聚焦成直径很小的光斑, 并 调节到适当的能量密度,对于处在真空环境 中的待减薄膜层进行高速扫描,使膜层汽化, 从而达到减薄膜层的目的。 技术二：真空激光减薄 9 系统原理： 激光束经过聚焦、偏转后, 经 由石英窗口, 照射放置在真空度为 10- 3 Pa 高真空环境中的待加工 晶