第6章压电传感器导论.ppt

由此可见： 1）当 时， ，前置放大器的输入电压 ， ，故压电传感器不能测量静态信号； 2）当 时， ， ，说明满足条件 时，前置放大器的输入电压 、电压灵敏度 与压电元件上的作用力频率无关，表明电压放大器的高频特性良好； 3） 、 与 有关，因此，压电传感器与前置放大器之间的连接电缆不能随意乱用， 电缆长度变化将使 变化，从而使 、 随之变化，会引起测量误差，降低测量灵敏度。 2 电荷放大器 电荷放大器常作为压电传感器的输入电路，由一个反馈电容和高增益运算放大器构成。当放大器开环增益和输入电阻、反馈电阻相当大时，电荷放大器视为开路，其等效电路如图2-7所示。 图2-7 压电传感器与电荷放大器相连的等效电路 电荷放大器的输出电压 正比于输入电荷 。证明如下 由图2-7可知 （2-15） 而 ，且 故 （2-16） 通A=104～108，即 ，故 ，则 （2-17） 由式2-17可知，电荷放大器的输出电压 只取决于输入电荷 和反馈电容 ，与电缆电容 无关。为了得到必要的测量精度，要求反馈电容 具有较好的温度和时间稳定性。在实际应用中，考虑到被测量的不同量程等因素， 通常做成可调的，范围一般在100～10000pF之间。同时，为了提高放大器的工作稳定性，一般在反馈电容的两端并联一个1010～1014的大电阻 ，以提供直流反馈。 由于电压放大器的输出信号与电缆电容有关，而电荷放大器的输出电压与电缆电容无关。故目前大多采用电荷放大器。 2.3.3 压电传感器的并联与串联 压电传感器在实际应用时，由于单片压电元件产生的电荷量非常小，为了提高压电传感器的灵敏度，通常将多片压电元件进行串联或并联的方式连接，如图2-8所示。 图2-8 压电元件的连接方式 1 压电传感器的并联 如图2-8（a）所示，并联结构是将两个压电元件的负端粘贴在一起，中间插入金属电极作为压电片的负极，正极在上下两边的电极上。压电元件并联方式的输出特性为：输出电荷、电容为单片的两倍，输出电压与单片相同，即 （2-18） 并联接法的特点是输出电荷大，本身电容大，时间常数大，适用于信号变化缓慢，且以电荷作为输出量的场合。当采用电荷放大器转换压电元件上的输出电荷时，并联方式可以提高压电传感器的灵敏度。 2 压电传感器的串联 如图2-8（b）所示，串联结构是将两个压电元件的不同极性粘贴在一起，粘贴处的正负电荷相互抵消，上下极板作为正、负极输出。压电元件串联方式的输出特性为：输出电荷与单片的电荷量相等，输出电压为单片的两倍，电容为单片的一半，即 （2-19） 串联接法的特点是输出电压大，本身电容小，适用于以电压作为输出信号，且测量电路输入阻抗较高的场合。当采用电压放大器转换压电元件上的输出电压时，串联方法可以提高压电传感器的灵敏度。 2.4 压电传感器的应用 压电传感器具有良好的高频响应特性，可以广泛应用于测量力、压力、加速度、位移和振动等物理量。 2.4.1 压电式力传感器 图2-9所示为YDS-78型压电式单向动态力传感器的结构，它主要应用于频率变化不太高的动态力的测量，如车床动态切削力的测试。 压电式单向力传感器的工作原理：被测力通过力上盖使石英晶片在沿电轴方向受压力作用而产生电荷，两块晶片沿电轴反方向叠起，其间是一个片形电极，它收集负电荷。两压电晶片正电荷侧分别与传感器的传力上盖及底座相连，因此两块压电晶片被并联起来，提高了传感器的灵敏度，片形电极通过电极引出插头将电荷输出。YDS-78型传感器的性能