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生产事故案例分析
宁夏隆基技术工艺部培训材料系列(一)
欢迎各位同事参加本次培训
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第一部分:概述
1.1 案例来源
本次培训材料案例来源于2008.05~2009.07由技术工艺部整理分析的生产事故报告。
【说明】生产事故的及时分析和整理是技术工艺部的日常工作之一,因此编写这个材料的目的也是分享我们前期在生产事故分析方面的经验,以尽快促进我们技术员技术的积累和业务水平的提高。
1.2 数据分类
1.2.1 本材料涉及整理生产事故报告98起。
1.2.2 生产事故分类
表1-1
事故分类
发生次数
百分比
掉棒(掉棒+漏硅)
48
49%
墩埚(墩埚+漏硅)
23
24%
漏硅
10
10%
重锤及钢丝绳
8
8%
其他
9
9%
1.3 生产事故损失简介
由于单晶硅材料制造成本的高昂,因此每一次生产事故均会造成巨大的损失,因此尽量减少避免生产事故的发生,是我们降低成本的有效途径之一。
生产事故损失成本构成简介:
1)材料加工成本,目前我公司材料加工成本为130~140元/Kg;
2)石墨件及热场碳毡损耗(见表1-2);
3)原料损耗,包括原料重新清洗损耗及费用,污染原料报废等;
4)设备受损,包括重锤报废,波纹管报废,炉体受损等。
表1-2 20吋热场主要石墨件采购价格
谨记:态度决定一切! 如履薄冰,如临深渊!
名称
价格(元)
石墨加热器
37000
五瓣埚帮
24500
主保温筒
39500
副保温筒
12500
下保温筒
9500
热屏
21500
石墨碳毡
600/kg
典型案例:表1-3 61#炉漏硅事故损失列表
损坏的石墨件(20吋)
价值(元)
三瓣埚一套
31000
细石墨加热器一只
47000
埚托一只
9500
隔热体
680
护底盘
3500
护底压板
1800
石墨电极2只
320
电极护套2只
160
石英护套2只
160
石墨螺丝+石墨盖 各2只
60
共计
94180
原料损失约(按3000元/kg)算
约180000
下轴波纹管一只
10000
总计
282180
第二部分:生产事故分析
2.1 概述
2.1.1 材料组织原则:按照事故分类介绍。
1)事故定义
2)发生原因分析
3)事故现象描述
4)处理措施(现场解决方法)
5)纠正预防措施(长期解决方法)
2.1.2 目的
1)借鉴警示
2)明确原因
3)提供方法
2.2 掉棒(掉棒+漏硅)
2.2.1 定义
在等径或拆炉过程中,籽晶部位(老籽晶)或细颈部位断裂,造成晶棒坠落的生产事故称为掉棒。如果在晶体坠落后同时造成石英坩埚损坏而发生漏硅的生产事故称为掉棒+漏硅。由于这类事故均为掉棒引发,因此归为一类。
【说明】新籽晶使用后需要与熔硅熔接,长出细颈才能够进行放肩等径等操作,那么使用后的籽晶熔接面以上的部分就称为老籽晶。掉棒中常说的老籽晶断裂主要指老籽晶上的钼销槽部分的断裂。
从前面统计数据可以看出掉棒在目前我们生产事故总数中所占比例最大,因此是我们最迫切需要解决的问题!
2.2.2 掉棒原因
统计数据:
1)籽晶问题
通常为老籽晶断裂,在检查炉台过程中无其他明显的异常。无违规操作,拉速平稳,无结晶现象,检查钼夹头内壁无凸起等缺陷。籽晶质量问题包括两个方面:a)籽晶尺寸不合乎要求,我们目前籽晶尺寸为12.5±0.1mm,超过此尺寸的可视为不合格;b)籽晶在加工过程中受内伤,造成强度下降,在晶棒达到一定重量后,造成掉棒。籽晶受到内伤的情况,以目前我们的检验条件是无法判定的,但是从发生事故的频次及供应商的考察来分析可以推断籽晶本身质量存在严重的缺陷。
注:本年度发生掉棒事件的频度远远大于去年,在同样的生产条件下出现这样有差异的结果,可以推断我们籽晶加工供应商的产品质量确实出现了严重问题。因此目前技术工艺部已经开始着手开发新的籽晶供应商。
图2-2-1 图2-2-2
分析过程:从拉晶曲线可以观察到在掉棒前晶体拉速运行平稳,无明显摆动现象,从拆炉后凝固的熔硅表面看无明显的结晶块。
图2-2-3
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