第七章波导输入和输出耦合器分解.ppt

第七章 波导输入和输出耦合器 光栅耦合器 适当地选择光束的入射角度，光栅耦合器就可以用来选择性地将光束能量耦合进特定的波导模式中； 同样的道理，某一特定的波导模式的能量可以从对应的某一特定角度耦合出来，所以光栅耦合器也可以用做输出耦合器。 光栅耦合器的主要缺点： 入射光会形成很多级衍射光，但是只有某一级衍射光才与某阶导模满足相位匹配条件，大部分衍射光的能量透过波导层而损耗于衬底，所以光栅耦合器难以达到棱镜耦合器那样高的耦合效率。 采用闪耀光栅可以大大提高光栅耦合器的耦合效率。 光栅耦合器 光栅耦合器的主要优点： 一旦制作完毕，光栅耦合器就是波导结构的一个组成部分，所以它的耦合效率是一个恒定量，而且不随外界条件明显改变； 光栅耦合器能用于高折射率半导体波导上，而这种波导难以找到合适的棱镜材料。 由于光栅耦合器对角度的依赖性大，所以它也不能有效地用于半导体激光器与波导的耦合。 光栅耦合器 光栅条纹图样的形成 两束倾斜相交的相干激光束（由同一束激光分束得到）产生的干涉图样对光刻胶曝光，形成光栅图样。 显然， 不能小于 。 光栅耦合器 全息光栅曝光棱镜法：利用棱镜可以比普通曝光法获得更小的栅条间距。 ：棱镜材料的折射率 光栅耦合器 光刻胶经过曝光后，使用标准方法显影，在波导表面产生所需要的掩膜，再利用刻蚀方法（化学刻蚀或离子束刻蚀）制作光栅。 作为刻蚀方法的替代，另一种在波导表面制作光栅结构的方法是：用光刻胶限定形状后，再在波导表面沉积薄膜条。用这种方法制成的光栅耦合器，有部分光会受到阻挡而进不了波导，其散射和吸收损耗都要大于刻蚀光栅的值。 楔形耦合器 楔形薄膜耦合器（尖劈形薄膜耦合器）是把薄膜波导的一端制成尖劈形薄膜区域而构成的。 楔形耦合的原理：低于截止条件的导模将能量转移到辐射模。 楔形耦合器 楔形薄膜耦合器工作原理如下图所示 导模进入楔形区域内传播时，当它传播到薄膜厚度等于该导模的截止厚度处时，再往后传播就开始转换为衬底辐射模并由衬底输出。 楔形耦合器 从几何光学角度看，进入楔形区域的光线在上下界面之间每往返一次，它在下界面的入射角就减小 （其中 为楔形尖劈的顶角）； 经过多次往返，光线在下界面的入射角（ ）将小于该界面的全反射临界角，光线开始折射入衬底。 教 师：张旨遥 办公地点：光电楼321室 E-mail: zhangzhiyao@uestc.edu.cn 光耦合的概念 “耦合”一词的含义是什么？ 简单地说，耦合就是指两个物体之间存在直接关系，相互影响。 什么是光耦合？ 通常是指两个或两个以上的光学元器件或光网络的输入与输出之间存在紧密配合与相互影响，并通过相互作用从一侧向另一侧传输能量的现象。 基于光耦合原理制作的各种光耦合器在集成光学中具有重要的应用：波导输入和输出耦合器、光功率的分配、滤波、偏振选择、调制、光开关等。 光耦合原理 光耦合器的基本性质是它的耦合效率和模式选择性。 耦合效率：光束总功率中被耦合进（或耦合出）波导的百分比，也可以用分贝（dB）单位表示。 百分比表示： 分贝表示： 其中， 为耦合进（出）波导的功率； 为耦合前光束的总功率。 模式选择性：将光功率耦合进特定波导模式，或将特定波导模式的光功率耦合出波导。 光耦合原理 对于一个选模耦合器，可以分别确定每个模式的耦合效率。 百分比表示： 分贝表示： 其中， 为耦合进（出）第 阶模式的功率； 为耦合前光束的总功率。 对于多模耦合器，通常用总值表示耦合效率。 耦合效率非常强烈地依赖于光束场和波导模场的匹配程度。 横向耦合器 横向耦合器：光束直接聚焦在波导外露截面上。 对自由空间（空气）中的光束来说，可以使用一个透镜来完成这种聚焦。 两块波导之间的横向耦合，可以通过将它们经过抛光或解理了的横截面对接在一起来实现。 激光束与波导横向耦合最简单的方法是直接聚焦（或称为端焦法）。 波导既可以是平面型，也可以是通道型。 横向耦合器 在端焦法中，光束能量向已知波导模式的转移是通过光束场和波导模场的匹配来完成的。 由入射光束的场分布与波导模场分布的重叠积分可以计算出耦合效率。 以平板波导为例，耦合效率的计算式为 其中， 为输入激光束的振幅分布， 为第 阶导模的振幅分布。 横向耦合器 激光束的高斯分布与TE0模（基模）模场形状之间具有相当好的匹配，所以端焦法特别适用于气体激光器输出光束与波导基模之间的耦合（原则上讲，耦合效率可以接近100%）。 为实现最佳耦合，光束直径一定要与波导厚度匹配，并且要严格对准（由于对准误差，通常可达到的耦合效率约为60%）。 端焦法很方便，实验室常常采用这种方法，但是在没有光学平台的情况下要保持对准是非常困难的，这就限制了端焦法的实际应用。 横向耦合器 平行端接耦合是实现波导与半导