透射电子显微技术及方法分解.ppt

透射电子显微技术及分析方法 河北工业大学材料科学与工程学院 10 μm 扫描电子显微像与透射电子显微像 电子与物质的相互作用 d 俄歇电子 0.5~2nm 50-1500eV 二次电子 5~10nm 0~50eV 背散射电子 5~200nm 特征X射线 1μm 入射电子束 试样表面 荧光X射线 试样表面 电子与物质的相互作用 背散射电子 (弹性/非弹性) 透射电子 非弹性散射电子 弹性散射电子 自由电子 入射电子 K L M N K L M N K L M N 特征X射线 俄歇电子 电子与物质的相互作用 入射电子束 2次电子(SEM) 俄歇电子 特征X射线(EDS) 阴极荧光(CL) 背散射电子(SEM) 透射电子(TEM) 吸收电子 热 弹性散射电子(TEM) 非弹性散射电子(EELS) 试样 Electron-Specimen Interactions Incident electrons Secondary electrons(SEM) Auger electrons X-ray(EDS) Cathodeluminescence(CL) Backscattered electrons(SEM) Unscattered electrons(TEM) Trapped electrons Heat Elastic scattered electrons(TEM) Inelas