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八、超聲波加工(P174) ○什麽叫超聲波? ○人耳能感受的聲波頻率在16—16 000Hz範圍內，聲波頻率超過16 000Hz被稱爲超聲波。 ○爲什麽超聲波加工能彌補電火花加工和電化學加工的不足? ○電火花加工和電化學加工只能加工導電材料，不能加工不導電的非金屬材料。 ○超聲波加工能加工脆硬金屬材料，並更適合於加工不導電的脆硬非金屬材料，如玻璃、陶瓷、半導體鍺和矽片等。 ○超聲波還可用於清洗、焊接和探傷等。 1. 超聲波加工的基本原理 超聲波加工的原理如下圖所示， 超聲波加工是磨粒在超聲振動作下的機械撞擊和抛磨作用以及超聲波空化作用的綜合結果 2.超聲波加工的特點 1)適合於加工各種脆硬材料 靠微觀局部撞擊作用 2）加工設備結構簡單 工具形狀可多變、無複雜的相對運動 3）工件表面切削應力、切削熱很小，不會變形無燒傷 去除加工材料是靠極小磨粒暫態局部的撞擊作用，無宏觀的工件表面切削力。 4）精度高 Ra值可達1．0—0．1μm，加工精度可達0．01—0．02mm，並可加工細小結構和低剛度的工件。 3.超聲波加工應用 超聲波加工生産率比電火花、電解加工低，但加工精度和表面粗糙度卻更好，能加工非導體、半導體等脆硬材料，如玻璃、石英、寶石、鍺、矽甚至金剛石等。即使是電火花加工後的一些淬火鋼、硬質合金沖模、拉絲模、塑膠模具，常採用超聲波抛磨法進行光整加工。 1）型孔、型腔加工 超聲波加工目前在工業部門中主要用於對脆硬材料加工圓孔、型孔、型腔、套料和微細孔等，如下圖所示。 2）切割加工 用普通機械加工切割脆硬的半導體材料很困難，採用超聲波切割則較爲有效。右圖爲用超聲波加工切割單 晶矽片示意圖。用錫焊或銅焊將工具(薄鋼片或磷青銅片)焊接在變幅杆的端部加工時噴注磨料懸浮液，一次可 以割10—20片。 l mm寬的長條，然後將刀具轉過90°，使導向片插入另一導槽中，進行第二次切割以完成模組的切割加工。下圖所示爲已切成的陶瓷模組。 3）複合加工 背景： ○超聲波加工不足------加工硬質合金、耐熱合金等金屬材料時，加工速度低，工具損耗大。 ○對策——把超聲波加工與其他加工方法結合起來，這就是所謂的複合加工。 例如採用超聲波與電化學或電火花加工結合加工噴油嘴、噴絲板上的小孔或窄縫，能極大地提高加工速度和加工質量。 4）超聲波清洗 ○原理------利用超聲頻振動在液體中産生的交變衝擊波和空化作用。 超聲波在清洗液(汽油、煤油、酒精、丙酮或水等)中傳播時，液體分子往復高頻振動形成正負交變的衝擊波。當聲強達到一定數值時，液體中産生微小空化氣泡並暫態強烈閉合，造成的微衝擊波使被清洗物表面的汙物脫落下來。 超聲波無孔不入，即使汙物在被清洗物上的窄縫、細小深孔、彎孔中，也容易被清洗乾淨。 超聲波廣泛用於對噴油嘴、噴絲板、微型軸承、儀錶齒輪、手錶整體機芯、印製電路板、積體電路微電子器件的清洗。 下圖爲超聲波清洗裝置示意圖。 5）超聲波焊接 ○原理——是利用超聲頻振動作用去除工件表面的氧化膜，暴露出新的本體表面，通過兩個工件表面在一定壓力下相互劇烈摩擦、發熱而親和粘接在一起。 ○應用——可以焊接尼龍、塑膠以及表面易生成氧化膜的鋁製品等，還可以在陶瓷等非金屬表面挂錫、挂銀、塗覆熔化的金屬薄層等。 下圖爲超聲波焊接示意圖。 下表爲可以採用超聲波焊接的某些成對金屬，有些金屬在超聲波作用下的可焊性增大。 ○利用超聲波的定向發射、反射等特性，還可用以測距和探傷等。 九、微米／納米技術 (P182) 1.概 述 人類對於大自然的科學探索和人類的工程實踐分別向超大型的世界、超微觀的世界及超複雜的世界進軍。(兩極分化) 最早進入分子、原子世界的是憑藉哲學的思辯與猜想的哲學家。 其次是憑藉科學理論與科學儀器的科學家，他們追求的是對於客觀世界認識的深化與理論的嚴謹。 今天各行業工程技術人員紛紛進入分子、原子的幽深神秘的殿堂。追求的是對於微觀規律的掌握、應用和巨大的經濟效益。 人類的工程活動正在越過微米、亞微米級的區域，進入納米、亞納米級，人們把這個領域的技術稱之爲微米／納米技術(Micro＆Nano—Technology)。 微米／納米技術在國際上初露頭角，它使人類在改造自然方面進入一個新的層次，即以微米層次深入到原子、分子級的納米層次，開創了納米電子、納米材料、納米生物、納米機械、納米製造、納米測量等新的高技術群。 微米／納米技術將開發物質潛在的資訊和結構潛力，使單位體積物質儲存、處理資訊和運動控制的能力實現又一次飛躍。導致人類認識和改造世界的能力取得重大突破。(尺寸精度是量變到