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2016-08-24 发布于河南
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cold cathode ionization gauge

冷陰極真空計 introduction ? 離子真空計依其電子電流產生裝置，基本上可分為兩大類：冷陰極離子真空計(cold-cathode ionization gauge)與熱陰極離子真空計(hot-cathode ionization gauge) ? 冷陰極真空計又稱為潘寧式真空計(Penning vacuum gauge)，其感測頭之電極結構而言，大概可分為兩大類：一．非輻射對稱感測頭二．輻射對稱感測頭真空計的比較冷陰極真空計工作原理優點 ①量測壓力範圍廣：5 ×10 -9 - 1 × 10 -2 mbar (10-2 ~ 10-7 torr) ②使用容易，其操作僅為控制單元上之「開關」動作。污染之探測頭可清洗。 ③陽極環和鈦陰極可以輕鬆進行清潔或更換 ④耐固耐用可作為系統壓力保護裝置售價不高，偶曝露大氣亦無妨。 ⑤适用于有大量放气和经常暴露于大气的真空设备的测量缺點 ①準確度不如離子真空計。 ②壓力指示隨氣體種類變化。每個氣體種類需要校正 ③需特別注意低壓的時候（低真空不可開啟） Thanks for your attention ! * * 正交磁场改变电子的运动轨迹 I=Kpn (11) I--放电电流K—常数n—常数， 1～2，与规管结构有关。冷发射产生少量初始自由电子在电场的作用下向阳极运动电、磁场的共同作用螺旋形轨道迂回地飞向阳极阳极是一个中空的环，电子还可能穿过阳极环前进，被带负电位的阴极排斥而折回，在两阴极间往返振荡，最后被阳极吸收电子碰撞气体分子电离形成的正离子在阴极上打出二次电子，短时间内雪崩式地产生大量的电子和离子即自持气体放电