尾气管更换作业指导书(吴秋坤0518).docxVIP

TEMPRESS尾气管更换作业指导书（吴秋坤0518）●更换目的：炉管在正常生产一段时间后，由于工艺运行所产生的偏磷酸会导致尾气管排气受影响，Exhaust值变低，影响工艺的正常运行。如果Exhaust值太低将会在运行工艺时出现Exhaust报警。因此在正常生产一段时间后将对尾气管进行更换。●更换周期：满负荷(24h/day)生产一个星期●更换步骤：1、依照下图所示选择Cooling程序对炉管进行降温。2、等温度降至200℃左右的时候开始作业，尾气管的拆装顺序如下：1)拧开顶部的固定夹，卸下接头2）按照箭头所指的方向松开瓶盖紧固夹，并将瓶盖取下 3）松开尾气管与炉管连接的螺母，并将铁氟龙接头向左移，直至尾气管与炉管连接处露出。4）用手轻轻的托住瓶底，先将尾气瓶水平地往外移一段距离，在往内轻推取出密封圈，待密封圈取出后再将尾气瓶移出。5）由于凝结的偏磷酸将尾气管粘住，必须用针筒注射IPA与纯水的混合液（1：10）溶解炉管口大量凝结的偏磷酸，然后取出尾气管，再用无尘布拭擦炉管口，凝结的偏磷酸必须清理彻底。清理完成后把新的尾气管装上。6）拆下的尾气瓶用纯水清洗干净后吹干，按照拆卸下来相反的顺序装上，装尾气瓶的时候必需严格保证尾气管与炉管的连接处没有位置偏差，以确保铁氟龙接头能够顺利装上；密封圈必须装到尾气瓶的凹槽处，以确保密封效果；尾气管伸进尾气瓶的长度大约为15cm。7）装好之后在控制面板选择要运行的程序升温，观察Exhaust实际值是否正常（刚换好后一般在8.0以上）。等待升温完成后即可运行工艺。●注意事项：1、作业者必需佩戴好口罩和防酸手套；2、由于炉管内温度还比较高，在注射IPA的时候不能将其注到炉管内，以防炉管破裂；3、由于都是石英材料，在拆卸的时候请轻拿轻放。