纳米压印技术的发展与研究现状-.docVIP

超声压印技术的发展及研究现状 周开欢 天津大学机械学院机械制造及其自动化专业2015级硕士生 摘要： 超声波压印技术作为一种新兴的制造技术，具有快速、压印周期短、成型效率高、清洁、经济、不引入外部材料等许多独特的性质，在微结构加工方面有着广阔的应用前景。本文介绍了超声压印技术的原理、工艺过程、研究背景及现状、应用前景并指出了该技术目前尚待解决的问题。 关键词：超声压印技术 发展 研究现状 应用前景 0 前言* 超声波以其快速、清洁、经济、不引入外部材料、生产成本低、生产效率高、精度保证高、质量一致性好和维护使用方便等优点被应用在工业工程中已经有30多年的时间，比如超声波清洗，超声波引线键合，超声波嵌镶，超声波焊接等等。 超声压印技术使用超声波作为能量来源，是一种高效、低成本、无污染的特种加工技术，其在学术界和工业界得到了广泛的应用[]。近年来，随着聚合物材料在微机电系统（MEMS）器件中的广泛应用和微纳米压印技术的发展，超声压印技术被引入到聚合物微结构/微器件加工工艺技术中，形成了一种新型的超声微热压印与焊接技术，以其高效低成本的优势，显示出了很大的发展潜力[]。基于超声微热压技术的聚合物微结构/器件的加工技术目前已成为国内外学者研究的热点。 1 超声压印技术研究背景 随着微机电系统（MEMS）如传感器和生物芯片等新型微器件应用的日益广泛，对其材料成本、