实验三扩散硅压阻式压力传感器实验.docVIP

北京XXX大学 实验报告 课程（项目）名称：实验三 扩散硅压阻式压力传 感器实验 学 院： 专 业： 班 级： 学 号： 姓 名： 成 绩： 2013年12月10日 一、任务与目的 了解扩散硅压阻式压力传感器的工作原理和工作情况。 二、实验仪器（条件） 所需单元及部件：主、副电源、直流稳压电源、差动放大器、F/V显示表、压阻式传感器 差压 、压力计。 旋钮初始位置：直流稳压电源±4V档，F/V表切换开关置于2V档，差放增益适中或最大，主、副电源关闭。 三、原理（条件） 扩散硅压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应制成的器件，也就是在单晶硅的基片上用 扩散工艺 或离子注入及溅射工艺 制成一定形状的应变元件，当它受到压力作用时，应变元 件的电阻发生变化，从而使输出电压变化。 四、内容与步骤 （1）了解所需单元、部件、传感器的符号及在仪器上的位置。（见附录三） 2 如图３０A将传感器及电路连好，注意接线正确，否则易损坏元器件。 图３０A 3 如图３０B接好传感器供压回路。 图３０B 5 将加压皮囊上单向调节阀的锁紧螺丝拧松。 （6）开启主、副电源，调整差放零位旋钮，使电压表指示尽可能为零，记下此时电压表读数 7 拧紧皮囊上单向调节阀的锁紧螺丝，轻按加压皮囊，电压表有压力指示时，记下此时的读数 ，并将数据填入表格中记录。 注：根据所