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第七章 其它传感与测试技术 $7.1 压痕法 测量方法：静载压入法 根据压头和载荷的不同，主要有布氏硬度(HB)、洛氏硬度(HR)和维氏硬度 (HV) 等。 硬度测试使用的压头种类 基本原理 对材料进行压痕实验时，球形压头在载荷的作用下压入材料，在加载过程中材料发生弹性和塑性变形，卸载时，弹性变形得以恢复。压痕实验测量材料的弹性模量是取卸载曲线初期的斜率S，这里S 被称为弹性接触刚度。加于压头上的载荷L与压深h之间的关系为： 式中： E*—弹性模量；R—球形压头半径。 将上式中L对h求导，可以得到接触刚度为： 式中：a为接触圆半径，定义A为压痕的接触面积，则 。因此： 由弹性接触理论可以得到： 对硬度的一般定义为： 压痕实验的载荷－位移曲线 实验后的压痕剖面 压痕的接触面积的获取 要得到材料的模量E和硬度H，必须知道压痕的接触面积。对于压入深度很小的压痕，通过卸载后的残余压痕照片来获得接触面积是很不方便的。只有通过材料的载荷－位移曲线去计算接触面积。 计算接触面积最常用的是Oliver-Pharr法，这种方法通过如下函数去拟合载荷－位移曲线的卸载部分： 式中B和m是通过测量获得的拟合参数，hf是完全卸载后的残余压深。弹性接触刚度可以通过微分上式得到： 一般来说，根据整条卸载曲线拟合得到的参量常常导致非常大的误差。因此，确定接触刚度的曲线拟合通常只取卸载曲线顶部的25%－50%。 压痕形式 对于弹性接触，接触深度hc通常小于压入深度（即最大位移h），由下式计算： 式中:e为与压头形状有关的常数。 得到了hc ，压痕的投影面积A便可由经验公式计算出来： 其中Ci是与压头有关的常数，由实验确定。 Zwick ZHU 2.5仪器的工作原理 Zwick ZHU 2.5采用的是连续刚度测量法（Continuous Stiffness Measurement，GSM）来实现加载过程中连续计算接触刚度的。 其原理是将一相对较高频率的简谐力叠加在准静态的加载信号上,其中简谐力的振幅保持在较小的水平上。 Zwick/Roell公司的ZHU 2.5压痕仪器 a) 测试系统 b) 动力学模型压痕测试系统 图中A为试件；B为压杆；C为加载线圈；D为支撑弹簧；Di为压头的阻尼；Ds为试件的阻尼；E为电容位移传感器；F为加载框；Kf为加载框的刚度；Ks为支撑弹簧的刚度；m为等效质量。 Zwick ZHU 2.5仪器的使用方法和实验步骤 Zwick ZHU 2.5测量材料力学性能的全过程都是由计算机控制的，通过软件TestXpert可以调试压痕实验的各项参数以满足实验要求：包括最大载荷，最大压入深度，压头下压的速率，材料泊松比，计算接触刚度时对卸载曲线取点的位置等。 在设置好各项参数后，即可以进行压痕实验。开始时，外壳先以VLE的速度到达预定高度，然后以Vpre-test的速度缓缓向试件靠近。当接触试件表面时，外壳停止向下移动，壳内的压头开始以Vcontact的速度下移直至接触到试件表面。刚接触试件表面时，压头的载荷为零。接触到试件后压头开始以Vtest的速度加载，慢慢压入试件，直至载荷或位移达到设定地最大值Fmax和hmax。压头在最大深度处停顿一段时间，将载荷由Fmax下降到零，随后以Vreturn的速度上移离开试件，试件表面处便留下了压头的压痕。 随后，计算机将根据被测试件的载荷－位移曲线和压痕形状计算出其相关力学参数的数值。如果需要，还通过显微镜可以清楚地观察到压痕的外形。 压头压入试件的过程 选择压头类型和试件硬度的计算方法 选择压头最大位移和对压头的控制方式 计算刚度时对卸载曲线的取点位置和材料的泊松比 纳米压痕（Nano-indentation） 又称深度敏感压痕（Depth Sensing Indentation）技术。是近几年发展起来的一种新技术。压入深度一般控制在微/纳米尺度，因此要求测试仪器的位移传感器具有优于1nm的分辨率，所以称之为纳米压痕仪。它可以在不用分离薄膜与基底材料的情况下直接得到薄膜材料的许多力学性质。例如：弹性模量、硬度、屈服强度、加工硬化指数等等。 传统的压痕测量方法的缺点之一是仅仅能够得到材料的塑性性质。另外一个缺点就是这种测量方法只能适用于较大尺寸的试样。随着现代微电子材料科学的发展，试样尺寸越来越小型化。传统的硬度测量技术无法满足新材料研究的需要。此外，材料科学家们不仅要了解材料的塑性性质，而且需要掌握材料的弹性性质。近几年发展起来的纳米压痕技术