2-3-4電漿原理.docVIP

2-3-4 電漿原理103~l0 pa的真空腔體內，於二電極間間加以 1 高電壓 2 低週波的交流高電壓 3 直流電壓，兩極間即會產生放電現象，而直流輝光放電之電位-電流關係，隨著電流增加可分為以下幾種輝光[19]，如圖2-6、圖2-7所示： 湯森放電 10-14 ~10-6 A ：放電電流比正常放電電流小的領域。 輝光放電 10-2~10-5 A ： 放電維持電壓一定的領域。 非正常放電 10-1~10-2 A ：放電電流較一般放電大時，持續放電之電壓隨電流增加而增大。 弧光放電 10-1 A ：超過非正常放電後，持續放電之電壓會急速下降，產生大電流的弧光放電。 圖2-電流操作電壓之放電狀態 圖2 10-2 10-4 P 1Torr 弧光放電 湯森放電 非正常放電 輝光放電 1 10-16 200 400 600 Crookes dark space Anode glow Faraday space Aston dark space Anode dark space Positive column Negative glow Cathode glow discharge