低温等离子体诊断-表7.电气学院（系、所）研究生课程简介.docVIP

表7． 电气 学院（系、所） 研究生课程简介 课程名称：低温等离子体诊断 131.520 英文名称：Diagnostics of low temperature plasma 课程类型：□讲授课程 □实践（实验、实习）课程 □研讨课程 □专题讲座 □其它 考核方式： 开卷考试 教学方式：板书 适用专业： 理工专业 适用层次： 硕士 □ 博士 □ 开课学期： 第一学期 总学时/讲授学时： 48 / 48 学分：3 先修课程要求： 《大学物理》《电磁场》《电动力学》 课程组教师姓名 职 称 专 业 年 龄 学术专长 刘明海 教授 等离子体 44 等离子体应用技术 程之峰 讲师 等离子体 26 等离子体应用技术 卢新培 教授 电气 40 等离子体源及其诊断 课程教学目标： 教学大纲：（章节目录） 着重于低气压等离子体工艺中的各种诊断原理和实用技术的介绍，通过本课程的学习，掌握气体放电等离子体参数的常用测量方法和操作技能，为从事低温等离子体工业应用打下必要的基础。本课程讲授的等离子体诊断技术多为低气压范畴，但对大气压放电等离子体的参数测量也有重要的借鉴作用。 第一章．概述 6学时 1. 气体放电的基本特性 2．低温等离子体的产生与应用 3. 低温等离子体诊断技术概述 第二章．静电探针技术 12学时 等离子体的鞘层特性 静电探针诊断原理与技