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第三章 电容式传感器 3.1电容传感器的结构原理 3.2 电容传感器的性能改善 3.3 电容式传感器的测量电路 3.4 电容式传感器的应用 第三章 电容式传感器 电容式传感器是把被测量转换为电容量变化的一种传感器。它不但广泛应用于位移、振动、角度、加速度等机械量的精密测量，而且还逐步地扩大，应用于压力、液面、料面、成分含量等方面的测量。这种传感器具有结构简单、灵敏度高、动态响应特性好、适应性强、抗过载能力大及价格便宜等一系列优点，因此，在自动检测技术中占有很重要的地位。 ３.１电容传感器的结构原理 电容传感器的基本原理 ： 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器, 如果不考虑边缘效应, 其电容量为 式中: ε——电容极板间介质的介电常数, ε =ε0·εr, 其中ε0为真空介电常数, εr为极板间介质相对介电常数; A——两平行板所覆盖的面积;  d——两平行板之间的距离。 ３.１电容传感器的结构原理 当被测参数变化使得上式中的A,d或ε发生变化时, 电容量C也随之变化。如果保持其中两个参数不变, 而仅改变其中一个参数, 就可把该参数的变化转换为电容量的变化, 通过测量电路就可转换为电量输出。 电容传感器的分类： 变间隙式，变面积式，变介电常数式。图3-1给出几种常见的电容传感器。下面分别介绍这几种传感器的结构原理及输出特性。 ３.１电容传感器的结构原理 。 ３.１电容传感器的结构原理 3.1.1变间隙式电容传感器 图 3 – 2为变间距型电容式传感器的原理图。当传感器的εr和A为常数, 初始极距为d0时, 可知其初始电容量C0为： ３.１电容传感器的结构原理 ３.１电容传感器的结构原理 则: 或: 说明： （1） C1与Δd近似呈线性关系, 所以变间距型电容式传感器只有在Δd/d0很小时, 才有近似的线性输出。 (2)此时电容式传感器的灵敏度为: 如图3-2右图采用差动变间隙式可以提高灵敏度。 ３.１电容传感器的结构原理 （3）在d0较小时, 对于同样的Δd变化所引起的ΔC可以增大, 从而使传感器灵敏度提高。但d0过小, 容易引起电容器击穿或短路。为此, 极板间可采用高介电常数的材料（云母、塑料膜等）作介质,如图3-3,此时电容C变为：  式中: εg——云母的相对介电常数, εg= 7;  ε0——空气的介电常数, ε0= 1; d0——空气隙厚度;  dg——云母片的厚度。 ３.１电容传感器的结构原理 ３.１电容传感器的结构原理 云母片的相对介电常数是空气的7倍, 其击穿电压不小于1000 kV/mm, 而空气的仅为3kV/mm。 因此有了云母片, 极板间起始距离可大大减小。同时, 上式中的(dg/ε0εg)项是恒定值, 它能使传感器的输出特性的线性度得到改善。  一般变极板间距离电容式传感器的起始电容在 20～100pF之间, 极板间距离在25～200μm的范围内, 最大位移应小于间距的1/10, 故在微位移测量中应用最广。 ３.１电容传感器的结构原理 （4）单变隙式电容的非线性误差： 差动式电容的非线性误差： 可见采用差动式可以提高线性度。 总结：为兼顾灵敏度和线性度，一般采用差动式变隙式结构形式，一般这种结构形式只能用来测量微小位移或微小振动。即测量范围小但灵敏度高。 ３.１电容传感器的结构原理 3.1.2变面积式电容传感器 1.直线位移型电容式传感器 图3-4左图所示为一直线位移型电容式传感器的原理图。当被测量的变化引起动极板移动距离△x时，覆盖面积S就发生变化，电容量C也随之改变，其值为： ３.１电容传感器的结构原理 ３.１电容传感器的结构原理 说明： （1）由此可见电容C的相对变化△C/C0与直线位移△x呈线性关系，其测量的灵敏度为： 减小两极板间的距离d，或增大极板的边长b可提高传感器的灵敏度，但d的