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浅谈飞秒激光微纳加工技术 商 浩 天津大学机械学院机械工程专业2015级硕士生 摘要：飞秒激光脉冲以超高速和超高峰值特性将其能量全部、准确地集中在限定的作用区域，可对所有材料实现“冷”加工。由于在加工的过程中不产生冲击波， 汽化物质也不把热量传给相邻的物质， 因此避免了加工过程中热损伤的产生， 得到了较高加工质量。本文综述了激光短脉冲化的飞秒激光发展史， 重点论述了飞秒激光的加工机理和特点。介绍了飞秒激光微加工在光学、微电子及生物医学等领域的应用， 展望了飞秒激光微加工技术未来发展的趋势以及需要解决的关键技术。 关键词：飞秒激光 微加工 应用 0 前言 1916年，爱因斯坦对辐射理论的分析为激光的产生提供了理论基础，直到1960年，美国人梅曼博士才研制成功世界上第一台红宝石激光器。激光一直被视为神秘之光，并已被人类广泛使用。激光加工可以克服其他加工技术的一些缺点，如需要接触式加工 如传统机械加工 、昂贵的真空设备 X射线、电子束、离子束加工等 、无法加工致密材料 粒子束加工 和非平版样品 平版刻蚀技术 等，在工业加工领域备受青睐。 然而， 1 激光加工技术的发展 激光加工开始于20世纪六、七十年代，主要采用红外和近红外波段输出的高功率纳秒激光系统，激光加工的主要材料是金属，加工过程包括、打孔、切割、焊接等多种形式，激光加工的原理是基于材料中的电子通过对光子的线性吸收获得热能，将材料逐步熔化、蒸发去除，因此造成吸收的光束能量不可避免地扩散到周围的区域。因此，由于热影响区的作用使得纳秒激光微加工不能得到超高的空间分辨率。 20世纪80年代出现的紫外波段输出的准分子激光系列可以实现对聚合物、瓷器、生物组织等材料的多种微细加工。在这一技术中，材料通过线性吸收大能量的单个光子就可直接切断其中的分子或原子结合键，在表面生成等离子体，属于非热熔过程，因此热扩散影响较小；另外，由于波长很短，光束容易聚焦，因此加工精确度提高到精度为10~100微米。由于紫外激光与物质的作用根本上仍基于线性吸收的原理，使得对于吸收带能量大的材料的加工受到严格限制，如各种玻璃；同时由于这种线性作用使得紫外激光加工只能停留在材料表面，不能实现材料的内部加工。 20世纪90年代，随着钛宝石全固态超短脉冲激光技术的日趋成熟，人们开始利用其独特的优势进行精密加工。飞秒激光脉冲足够的短，光速为3x108m/s，1秒钟可绕地球运动7.5圈，而在100fs内只能前进30μm，约为头发直径的1/3。特别是借助于啁啾脉冲放大技术，单个脉冲能量从几个纳焦耳可放大至几百毫焦耳甚至焦耳级，使得飞秒激光的峰值功率得以大幅度提高。飞秒激光加工改变了激光与物质相互作用的机制，不但可以提高加工精度，而且还能加工长脉冲激光无能为力的透明材料，开创了激光加工的崭新领域。 2 飞秒激光的加工原理 激光对材料加工的效果通常表现为材料结构得到一定的修复、调整或去除。激光能量向加工材料沉积的过程中， ， ， ， ， ， ， ； 10-15S ， ， ；， ， ， ， ， 3.1 加工材料的广泛性 飞秒激光加工过程中， ， ， ， ， ，， ， ， 3.2 加工过程的非热熔性和加工结果的精确性 飞秒激光在极短的时间和极小的空间内与物质相互作用， 由于没有能量扩散等影响， 向作用区域内集中注入的能量获得有效的高度积聚， 等离子体的喷发几乎带走了原有全部的热量， 作用区域内的温度获得骤然下降，大致恢复到激光作用前的状态， 这从根本上消除了类似于长脉冲加工过程中的熔融区、热影响区、冲击波等多种效应对周围材料造成的影响和热损伤， 大大减弱和消除了传统加工中热效应带来的如裂纹等负面影响， 实现了相对意义上的“冷” 加工。由于加工过程所涉及的空间范围大大缩小， 决不会“伤及无辜” ， 也提高了激光加工的精确程度。 3.3 加工尺寸的亚微米特性和3D 空间分辨性 在飞秒激光和物质作用的过程中， 材料对激光能量的吸收与光子强度的n 次方成正比。由于激光强度在空间上一般呈高斯型分布， 即入射激光经过聚焦后在焦斑中心的位置强度最大， 趋向于焦斑边缘时， 强度逐渐减弱， 因此调节入射激光束， 使得焦斑的中心强度刚好满足材料的多光子电离阈值， 则加工过程中的能量吸收和作用范围就被仅限于焦点中心位置处的很小一部分体积内， 而非整个聚焦光斑所辐照的区域。若激光束聚焦后的衍射极限光斑直径约1 μm ， 对于不同的多光子吸收过程， 通过不断地降低光束中心强度， 相对提高多光子吸收阈值，则实际加工区域范围小于0 .1 μm ， 仅为原始光斑的1/10。这对于长脉冲加工系统来说是不可思议的， 因此飞秒激光加工可以突破光束衍射极限的限制，实现尺寸小于波长的亚微米或纳米级操作。 3.1 加工能量的低耗性 由于飞秒激光的脉冲持