真空蒸发镀膜解析.pptVIP

第二章 真空蒸发镀膜法 The Vacuum Evaporation 讲解人： aaa 1111111 2-3 蒸发源的类型 1 蒸发源是用来加热膜材使之汽化蒸发的装置。 蒸发源是蒸发装置的关键部件，大多数金属材料都要求在1000~2000℃的高温下蒸发。因此，必须将蒸发材料加热到很高的蒸发温度。最常用的加热方式有：电阻法，电子束法，高频法等。根据不同的加热方式可以将蒸发源分为三大类，分别是：电阻蒸发源，电子束蒸发源，高频感应蒸发源。 2 电阻蒸发源 采用钽、钼、钨等高熔点金属，做成适当形状的蒸发源，其上装入待蒸发材料，让电流通过，对蒸发材料进行直接加热蒸发，或者把待蒸发材料放入Al2O3、BeO 等坩埚中进行间接加热蒸发 。 优点：蒸发源结构简单、廉价易操作 缺点：需考虑蒸发源的材料和形状 2-3 蒸发源的类型 3 电阻蒸发源 ①. 高熔点 ②. 低饱和蒸汽压 1. 蒸发源材料 2-3 蒸发源的类型 4 1. 蒸发源材料 电阻蒸发源 ③. 化学性能稳定，在高温下不应与蒸发材料发生化学反应。 ⑤. 原料丰富，经济耐用。 ④. 具有良好的耐热性。热源变化时，功率密度变化较小； 2-3 蒸发源的类型 5 电阻蒸发源 在制膜工艺中，常用的蒸发源材料有W、Mo、Ta等，或耐高温的金属氧化物，陶瓷或石墨坩埚。 2-3