第5章压电式传感器教案.ppt

第5章 压电式传感器 * 压电式传感器是一种典型的有源传感器(或发电型传感器)。它以某些电介质的压电效应为基础，在外力作用下，在电介质的表面上产生电荷，从而实现非电量电测的目的。 压电传感元件是力敏感元件，所以它能测量最终能变换为力的那些物理量，例如力、压力、加速度等。 压电式传感器具有响应频带宽、灵敏度高、信噪比大、结构简单、工作可靠、质量轻等优点。近年来，由于电子技术的飞速发展，随着与之配套的二次仪表以及低噪声、小电容、高绝缘电阻电缆的出现，使压电传感器的使用更为方便。因此，在工程力学、生物医学、电声学等许多技术领域中，压电式传感器获得了广泛的应用。 触觉传感器 加速度传感器 * §5-1 压电效应 压电效应：沿着一定方向对某些电介质施力而使它变形时，其内部就产生极化现象，在它的两个表面上产生符号相反的电荷；当外力去掉后，又重新恢复不带电状态。 逆压电效应(电致伸缩效应)：在电介质的极化方向施加电场，这些电介质产生变形。 具有压电效应的物质如天然形成的石英晶体，人工制造的压电陶瓷、锆钛酸铅等。 天然石英晶体 人工制造的压电陶瓷 * 一、石英晶体压电效应 §5-1 压电效应 天然结构石英晶体的理想外形是一个正六面体，石英晶体的坐标系： Z轴，也叫光轴，经过正六面体棱线； X轴，也叫电轴，垂直于正六面体的棱边； Y轴，也叫机械轴，垂直于正六面体的棱面。 （光轴） （电轴） （机械轴） （a）正负电互相平衡， 外部没有带电现象。 （b）X向压缩，表面A上呈现负电荷、B表面呈现正电荷 “纵向压电效应” “横向压电效应” （c）Y向压缩，在A和B表面上分别呈现、负电荷 * 从石英晶体上切下一片平行六面体——晶体切片，使它的晶面分别平行于X、Y、Z轴，如右图所示。并在垂直X轴方向两面用真空镀膜或沉银法得到电极面。 石英晶体切片 §5-1 压电效应 * §5-1 压电效应 当晶片受沿电轴(X轴)的压力Fx作用时 厚度变形 极化现象 + PXX —极化强度 σXX —应力 FX —沿晶轴X方向施加的压缩力； d11—压电系数，与受力方向有关； l，b—石英晶片的长度和宽度 qX—垂直于X轴平面上电荷 极间电压 CX —电极面间电容 X轴平面上电荷 * §5-1 压电效应 当晶片受沿机械轴(Y轴)的压力Fy作用时，电荷仍在与X轴垂直平面上出现 电荷的大小为： 其中，d12 —石英晶体在Y轴方向受力时的压电系数， d11=- d12 t —晶片厚度 X轴平面上电荷 极间电压 * §5-1 逆压电效应 晶体在外电场的作用下，内部正负电荷的重心会发生位移．这一极化位移又会导致晶体发生形变。 即在压电体表面形成上正、下负的电场时，压电体在长度方向便会伸张；反之，若在压电体上、下表面施加反向电场．则压电体在长度方向就会收缩。当对压电体施加交变电场时，在压电体中就会激发出某种模态的弹性振动。 Δt=d11UX 其中，EX —X轴方向的电场强度 * 由上述可知： ①无论是正或逆压电效应，其作用力(或应变)与电荷(或电场强度)之间呈线性关系； ②晶体在哪个方向上有正压电效应，则在此方向上一定存在逆压电效应；（正压电效应存在，逆压电效应必存在，反之而不对。） ③石英晶体不是在任何方向都存在压电效应的。 §5-1 压电效应 * §5-2 压电材料 应用于压电式传感器中的压电材料主要有两种： 一种是压电晶体，如石英等； 另一种是压电陶瓷，如钛酸钡、锆钛酸铅等。 对压电材料要求具有以下几方面特性。 ①转换性能。要求具有较大压电常数。 ②机械性能。压电元件作为受力元件，希望它的机械强度高、机械刚度大，以期获得宽的线性范围和高的固有振动频率。 ③电性能。希望具有高电阻率和大介电常数，以减弱外部分布电容的影响并获得良好的低频特性。 ④环境适应性强。温度和湿度稳定性要好，要求具有较高的居里点，获得较宽的工作温度范围。 ⑤时间稳定性。要求压电性能不随时间变化。 * 一、石英晶体 石英在高温下相对介 电常数的温度特性 石英的d11系数相对于 20 oC的d11 随温度变化特性 §5-2 压电材料