表面分析数据处理(必读).doc

关于XPS数据处理 实验测量得到的XPS原始数据由于数据处理花费时间较多，占用了大量的仪器测试时间，致使待测样品积压。数据由我们处理，由于对用户的要求理解不透，越俎代庖，往往不得要领。为了提高设备利用率，更好地发挥用户对自己的问题有更全面的了解的优势，因此建议用户自己处理数据，特别是学生，好处多多。掌握了数据处理的全过程，有利于分析解释实验结果；用户对自己的样品状态有深入的了解，数据处理时目的明确，得到的结果更符合要求。解谱也是数据处理的重要方法之一，用在许多领域，是科研工作者应该掌握的知识。 除纯元素外，合金或化合物的谱线，是元素不同化学状态的彼此接近的谱线互相重叠在一起的合成谱线。为了认定存在元素的化学状态和所对应的含量，必须把这些重叠在一起的谱线分开，即分峰处理或解谱。目前主要有两种方法—退卷积和曲线拟合，前者理论上更严格，但涉及到传输函数、仪器加宽等，很难实际操作。后者用得较多，因为曲线拟合，数学上讲解可以有无穷多个，不能给出唯一的解，但有意义的解应该是唯一的，只有用户自己了解样品中元素可能存在的化学状态，能唯一确定哪些解是合理的。 现在已有许多，新型的仪器都带有这类处理软件，在网上很容易查到，免费的比较方便并使用较多的有Origin和XPS数据处理软件XPSPEAK4.1，后者可对数据进行扣除背底、分峰拟合处理、峰值标定、计算积分面积等。该软件可到下列网址下载，并附有使用说明： ESCALAB250测量数据输出为Excel表格，如下图为一组XPS数据， A列为结合能，C列为对应的强度计数。 如果需要用XPSPEAK软件对数据进行拟合分峰处理，把结合能与测量数据同时拷贝出另存为文本文件，如下图。 运行XPSPEAK，Import（ASCII），引入上面的数据，得到下图。 对于不对称的峰，用Shirley背景或Tougaard背景扣除，前者也可以加入部分直线，根据谱线形状和样品中可能存在几种价态，进行分峰（Add Peak）处理，加峰时所有的Fix选项都不要选，在Options中选择用Gaussian-Lorentzian和函数（Sum）或积函数（Product）来拟合，Peak Type项可根据谱线类型选择（实际上好象影响不大），详见该软件的XPSPEAK user guide上面的谱图拟合分峰处理后结果如下图，用Export（Spectrum）和Export（Peak Parameters）保存处理结果。 若要想把谱图处理得更漂亮一些，在Excel里把XPSPEAK的*.dat文件打开，在文本向导里，把空格√选中，点击下一步，完成，即可复制数据粘贴到Origin，绘图进一步处理。 上面的谱图在Origin中处理后如下图。 根据峰面积可以计算相对含量（原子%），查阅NIST数据库，由结合能即可得知该元素的化学状态有关信息。NIST数据库网址：/xps/ ，也可查阅 /accueil/index.php我们也刚刚摸索使用XPSPEAK4.1，尚无经验，大家在处理数据过程中会找到更好的方法，希望推广交流。另外，要注意保存原始数据。如有问题，我们将协助解决。电话：8397 8217，E-MAIL：binzhang@， 谢谢大家合作！ 分析测试部 表面分析实验室 2006年3月12日 2