10、第十章纳米技术与纳米电子学.ppt

第十章 纳米技术与纳米电子学 10.1 概述 纳米技术 物理学原理并不排斥通过操纵单个原子来制造物质。这样做并不违反任何定理，而且原则上是可以实现的。毫无疑问，当我们得以对细微尺度的事物加以操纵的话，将大大扩充我们可能获得物性的范围 。 --- Richard P.Feynman,1959 1、纳米级测量技术 2、纳米材料的制备技术 3、纳米级加工技术 4、纳米组装技术 10.1 概述 纳米材料 在某个维度上的尺寸处于纳米量级的材料 10.2 纳米材料的基本效应 1 表面效应 指纳米晶粒表面原子数与总原子数之比随粒径变小而急剧增大后所引起的性质上的变化 表面原子数占全部原子数的比例和粒径之间的关系如图10.2所示。 10.2 纳米材料的基本效应 2 小尺寸效应 指随着颗粒尺寸减小到与光波波长(100nm以下)、德布罗意波长、玻尔半径(0.1nm)、相干长度(几nm以下)、穿透深度(~100nm)等物理量相当， 甚至更小时，其内部晶体周期性边界条件将被破坏，导致特征光谱移动、磁序改变、超导相破坏、非热力学结构相变等，从而引起宏观电、磁、声、光、热等物理性质的变化。 磁性 ——制备永磁微粉 10.2 纳米材料的基本效应 2 小尺寸效应 热力学性质 ——μ随着颗粒尺寸减小而增大 10.2 纳米材料的基本效应 2 小尺寸效应 光学性质 ——金属超微颗粒对光的反射率很低，通常可低于1%，对太阳光谱几乎完全吸收，大约在几微米的厚度就能完全消光。 ——考虑置于交变电场小的单个球状颗粒，在金属中电子将是在强耦合的作用下做集体运动，这就是表面等离子振荡。 共振频率ωp=(Nq2/εm*)1/2 ——可见光或近紫外光频段 超微粒子中的电子能级间距随尺寸减小而增加。通常导致光吸收峰向短波方向位移，称之为“蓝移”。 10.2 纳米材料的基本效应 2 小尺寸效应 超导电性 ——当颗粒尺寸减小时，低频的晶振动将受到颗粒尺寸的限制而被截止，从而增加Tc值。 ——另一方面，随着颗粒尺寸减小，表面原子分数将显著增长，表面原子由于近邻配位数的减少而使表面声子谱频率降低，软声子模特会导致电子-声子耦合强度增加，从而增加Tc值。 ——低温超导实验结束表明，对于Al、In等材料，随着颗粒尺寸变小，Tc的确有所增加。 10.2 纳米材料的基本效应 2 小尺寸效应 介电性能 微颗粒的Drude公式 介电常数 当ωτ1时 ——等离子共振频率的线宽与颗粒的直径成反比，等离子共振频率将随颗粒尺寸变小而移向低频，颗粒的损耗(ε2)随尺寸的减小而增大。 10.2 纳米材料的基本效应 3 量子尺寸效应 纳米微粒存在不连续的最高被占据的分子轨道能级和最低未被占据的分子轨道能级，使得能隙变宽的现象，被称为纳米材料的量子尺寸效应。 根据Kubo理论 例如，直径为14nm的银颗粒，当N＝6×1023/cm时，能级间距，故当温度低于1K时，有可能出现量子尺寸效应。 ——由于能级的量子化，纳米材料的Eg增大，波长减小，即其吸收带发生蓝移。 ——处于分离的量子化能级中的电子波动性还如场致发光、载流子的量子约束和量子输运、导体变成绝缘体等系列反常 10.2 纳米材料的基本效应 4 宏观量子隧道效应 微观粒子具有贯穿势垒的能力称为隧道效应。一些宏观量，例如微粒的磁化强度、量子相干器件中的磁能量也有隧道效应，它们可以穿越宏观系统的势阱而产生变化，称为宏观量子隧道效应(Macroscopic Quantum Tunneling，MQT)。 ——实验结果表明，在低温时确实存在磁的宏观量子隧道效应，但现在的理论尚难以解释全部实验结果。 ——它还确立了现存的微电子器件进一步微型化的极限。如电路尺寸接近电子波长时，电子就通过隧道效应而溢出器件，使器件无法工作。 10.2 纳米材料的基本效应 5 库仑堵塞效应 在纳米体系中，由于能级分立和势垒的存在，当有电流通过时，在一定条件下出现电流中断的现象。 ——换句话说，就是该体系的充电和放电过程是不连续的，是量子化的。 ——此时，充入一个电子所需的能量为库仑堵塞能，它是电子在进入或离开体系中时前一个电子对后一个电子的库仑排斥能。 ——由于库仑堵塞效应的存在，电流随电压的上升不再是直线关系，而是在I-V曲线上呈现锯齿形状的台阶。 ——单电子器件 10.2 纳米材料的基本效应 6 介电限域效应 介电限域现象指的是纳米微