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烟台汽车工程职业学院 ( 2008 )级专科生毕业设计(论文) 开 题 报 告 论文题目： 报告时间：2010年10月  一、课题研究的背景和意义 微机械角速率传感器是近些年来发展的新一代惯性仪表,已有十余年的历史，与传统的传感器相比，采用MEMS技术制作的微型角速率传感器不仅将具有传统角速率传感器耐冲击、抗过载的特点，而且还将具有体积小、重量轻、功耗低、价格便宜的特点，适合利用微电子技术大批量生产。不仅在军事领域有很好的应用前景，而且在民用领域也将得到广泛的应用，如相机防抖、汽车惯导系统、智能玩具等。 因而，它是是未来低、中精度传感器的理想换代产品，也是惯性技术向民用领域大量推广应用最有前途的仪表。随着微机械加工技术的发展和信号处理技术的发展，微机械角速率传感器的精度正不断的提高，应用领域也将不断扩大。3.1研究方法 （1）对射流角速率传感器的版图进行优化设计，使角速率传感器的结构达到最理想值； （2）使用ANSYS程序，建立有限元模型，进行模态分析。 （3）解决制作过程中遇到的工艺难题，尤其是在热敏电阻丝的制作，键合工艺，以及ICP刻蚀中出现的问题。 （4）完成流片试验，制作出微型射流角速率传感器样片，进行封装和测试。 本次论文是突破了用传统机械加工方法制成的射流角速度传感器，将MEMS技术用于射流角速