第5章 微传感器和微执行器(第1部分).ppt

当入射光光子的能量大于被照射材料的逸出功时，就有光电子发射，称为外光电效应。 利用这种效应制成的传感器有真空光电管、光电倍增管等。 当物体受光照射后，其内部原子释放出电子，但这些电子并不逸出物体表面仍留在内部，使物体的电阻率发生变化或产生光电动势的现象称为内光电导效应。前者称为光电导效应，后者称为伏打效应。 利用半导体光电导效应可制成光敏电阻 其基本原理是辐射时半导体材料中的电荷载流子（包括电子和空穴）的增殖使其电阻率发生变化。 光中的光子和固体中吸收光的电子的相互作用原理在量子物理学中已经比较完善。 微光学传感器已经可以测量出光的强度。具有强光电效应的固态材料可用作这种传感材料。 如图所示，当透光性较强的半导体基体A接受光子能量后，两光敏电阻的连接处可产生电势。产生的电势可以通过电桥电路中电阻的改变测量出来。 一种特殊的材料，当有光照时其自身电阻会发生变化。 图中的光电二极管由p型和n型掺杂的半导体层组成 图中的光电子管由p－、n－和p－掺杂层组成。入射的光子能量可以被转换成从这些器件中输出的电流。 热电偶是测量热的最常用的传感器 工作原理：依靠两个不同金属线的末端产生的电动势，此电动势在两个导线的交节点（称为节点）被加热的情况下产生。 热电偶传感器 微传感器的实例 3 ——热学 热电偶 热电偶原理微温度传感器的一个严重缺点：输出信号随着线和节点的尺寸的减小而降