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第三章 多孔阳极氧化铝模板的制备与表征AAO 模板在纳米材料、功能材料等领域已被广泛研究和应用。尤其是高度有 序 AAO 模板，更是引起人们的极大兴趣和广泛关注。为了获得高度有序的 AAO模板，我们将在本章系统的研究 AAO 模板的制备，并对制得的 AAO 模板进行表征 与研究。多孔阳极氧化铝模板的制备过程1.1 实验药品及仪器AAO 模板是将金属铝片放在适当的电解液中通过阳极氧化制得的。因此，制备有序 AAO 模板的材料、电解液，以及阳极氧化前进行的预处理，对制得的 AAO模板的有序度影响很大。 铝基片：高质量的铝基片是获得有序多孔氧化铝模板的一个重要因素。有序纳米孔氧化铝膜形成的“体膨胀应力”模型认为，多孔氧化铝膜生长过程中，由体积膨胀产生的机械应力导致孔的有序化。因此，选择铝基片应尽可能满足以下 几个条件：铝的结构、成分单一；内部无机械应力；表面粗糙度低。这样才能尽 可能消除生长过程中的局部体积膨胀和应力分布不均，以便生成有序面积较大的 多孔氧化铝膜。我们选用的多晶铝箔厚度为 0.15mm 和 0.30mm，宽度为 150mm，纯度99.999%(北京有色金属研究院提供)。电解液：电解液的质量也是影响氧化铝膜有序性的重要因素。电解液中的杂 质离子将对阳极氧化膜产生不同程度的影响，特别是氯离子将会使氧化膜疏松、 粗糙，产生局部腐蚀，严重时甚至不能成膜。我们使用电阻率为15M ? ?cm 的去 离子水作为溶剂，分别使用分析纯的磷酸、硫酸和草酸作为电解质。磷酸、硫酸、 草酸电解液的浓度分别为 0.2mol ? L?1 、0.3mol ? L?1 和 0.4mol ? L?1 。恒温系统：保持制备过程中温度恒定是获得有序多孔氧化铝膜的另一重要因 素。我们在制备过程中通过冰水浴、转子和磁力搅拌器来维持阳极氧化过程中的 恒温要求；在去氧化层时用北京长风 HW.SY11-KP4 型水域加热锅来进行水域加 热。电源系统：北京先导 XD17110A-120 型和上海冠威电器厂生产的 GPRS10H50型的连续可调直流稳压电源。阴极材料为化学稳定性好的铂电极(99.999%)。其它化学试剂：除了上述的三种电解质，在铝基片的清洗、电化学抛光、湿法化学刻蚀、去铝层、去阻碍层等过程还需要用到其它一些化学试剂，所选用的化学试剂均为分析纯。表 1.1 给出了试验中常用化学试剂的相关信息。表 1.1 常用化学试剂的相关信息名 称分子式分子量含 量溶解性丙 酮CH 3COCH358.08? 99.5%0.7899极易溶于水、酒精乙 醇CH 3CH 2 OH46.07? 99.7%0.7851极易溶于水、乙醚高氯酸HClO4100.4670.0 ? 70.2%1.77易溶于水、乙醇草 酸C 2 H 2 O4 2H 2 O126.17? 99.5%溶于水硫 酸H 2 SO498.0895 ? 98%1.83极易溶于水磷 酸H 3 PO498? 85%1.68极易溶于水三氧化CrO399.99? 99.0%2.7易溶于水铬氯化铜CuCl 2 2H 2 O170.48? 99.0%2.54易溶于水使用仪器：日本电子 JSM-6390 型扫描电子显微镜； 日本精工 SPA400 原子力显微镜；XPert PRO(帕纳科)X 射线衍射仪； 马沸炉、管式烧结炉； 自己搭建的阳极氧化电流(电压)-时间采集系统。1.2 实验制备过程下面我们介绍阳极氧化法制备 AAO 模板的制备工艺。AAO 模板的制备主要包 括三个过程：预处理过程、阳极氧化过程和后期处理过程。制备路线如下：铝片剪裁 超声清洗 高温退火 电化学抛光 一次氧化扩 孔去铝层去一次氧化层去阻挡层二次氧化水洗风干 双通 AAO 模板（1）预处理过程铝片剪裁：将铝片剪裁为 75×50×0.15mm 的长方形。超声清洗：去除铝片表面的污垢和油脂。先使用丙酮超声约 5 分钟，再使用乙醇超声 5 分钟，再用去离子水冲洗，最后用氮气吹干。清洗过程中应注意保护 样品的表面，尽量不要破坏其表面，否则阳极氧化过程中电流会集中于缺陷部位 导致样品烧蚀。高温退火：退火处理在马沸炉中进行。退火温度 400—550℃，退火时间 4 —6 小时。退火的目的是为减少铝片内部的机械应力，使得铝片表面更加平整， 增大铝片的晶粒尺寸，以提高有序孔排布的尺寸范围。铝片随炉冷却,待铝片冷 至室温后取出。图 3.1(a),(b)是铝片退火前后的扫描电镜照片，(c),(d)是铝片 退火前后的金相显微照片。从图中可以看出退火后铝片表面的平整度得到了显著 改善，晶粒明显长大。通过研究得知：温度相同时，退火时间对晶粒的大小有很 大影响，时间越长，晶粒越大越规则，晶界越粗越少。而退火时间相同，温度不 同时，晶粒大小也不一样，温度越高，晶粒越大越规则，晶界