AlGaN紫外探测器读出电路研究.docxVIP

第 43 卷 第 9期激 光 与 红 外Vol． 43，No． 92013 年 9 月LASER ＆ INFRAREDSeptember，2013文章编号: 1001-5078( 2013) 09-1059-05·紫外技术·AlGaN 紫外探测器读出电路研究吉晶晶，刘万金，胡小燕( 华北光电技术研究所，北京 100015)摘 要: 设计了一款 AlGaN 320 × 256 规模紫外探测器专用读出电路。该款读出电路属于数模 混合电路，其中模拟信号处理电路包含积分放大电路、采样保持电路、缓冲器及输出驱动电路，数字逻辑控制电路实现了多种用户可配置的功能。给出了理论分析和电路模拟仿真的结果数 据及波形。采用标准 0. 35μm 2P3M CMOS 工艺设计了电路版图，最终版图面积为 11. 8mm × 11. 1mm，并对流片后的读出电路进行了主要参数的测试和数据分析，验证了该读出电路的 功能。关键词: AlGaN; 紫外探测器; 读出电路; ROIC; CTIA中图分类号: TN文献标识码: ADOI:10． 3969 /j． issn． 1001-5078． 2013． 09． 22Study of AlGaN ultraviolet detector ROICJI Jing-jing，LIU Wan-jin，HU Xiao-yan( North China Research Institute of Electro-optics，Beijing 100015，China)Abstract:A novel reading out circuit(ROIC)of AlGaN ultraviolet detector is proposed． The ROIC consists of analogcircuit and digital circuit． The analog circuit includes integrating amplifier，sampling-hold circuit，buffers and output drivers． The digital circuit gives the ROIC extra functions． In this paper，the theoretical analysis and simulation re-sults of the circuit are given． A chip is designed by using the 0． 35μm 2P3M CMOS processes． Dimension of the chip is 11． 8mm × 11． 1mm． The measurement and analysis of the main parameters are implemented successfully and the ROIC’s function is verified．Key words:AlGaN;ultraviolet detector;reading out circuit;ROIC;CTIA1引言紫外探测技术是正在迅速发展中的一种新型光电探测技术。其中 AlGaN 是目前研究最广、性能最 好的半导体紫外探测器材料，利用 AlGaN 研制高性 能的紫外探测器，在军用和民用方面都有很高的应 用价值［1］。AlGaN 紫外探测器的研制成功离不开读 出电路的设计和研制，利用读出电路可以对探测器 产生的光电流进行积分，然后进行前置放大、采样保 持、缓冲，最后进行多路传输。所以读出电路的性能直接制约着 AlGaN 紫外 探测器的性能，是否能研制出高性能的读出电路成 为制约 AlGaN 紫外探测器性能高低的一个因素。 本文将介绍在研制 AlGaN 320 × 256 规模紫外探测器专用读出电路方面所做的工作。电路设计在紫外技术应用中，目标的辐射多数都非常微 弱，探测器的光生电流( 通常为 nA 甚至 pA 量级) 都 非常小，加之各种噪声的干扰，目标信号很容易掩埋 在各种噪声之中，故必须对输出信号进行某些适宜 的处理( 如积分、放大和降噪等) 才能从噪声中提取 出目标信号，然后按照一定的顺序把信号输出到后 续的处理电路，这就是读出电路要完成的主要使命。 由于紫外探测器应用的特殊性，就对读出电路的在作者简介: 吉晶晶( 1980 － ) ，女，硕士，主要从事读出电路设计工 作。E-mail: jinjin1113@ 126. com收稿日期: 2013-03-12; 修订日期: 2013-04-031060激 光 与 红 外第 43 卷噪声、动态范围等方面的设计提出了特别要求。2. 1模拟电路设计根据读出电路需要完成的工作以及 AlGaN