传感器技术与应用第3版第1章传感器概述.pptVIP

2. 陶瓷材料 3. 石英材料 4. 金属氧化物及合金材料 （1）ZnO薄膜 （2）非晶态磁性合金材料 （3）形状记忆合金材料 5. 无机材料 6.有机材料 7.生化材料 8.高分子敏感材料 9.合成材料 10. 智能材料 （1）能够检测并且可以识别外界或内部的刺激强度的感知功能； （2）能够响应外界变化的驱动功能； （3）能够按照设定的方式选择和控制响应； （4）反应比较灵敏、及时和恰当； （5）当外部刺激消除后，能够迅速恢复到原始状态。 二、 传感器制造技术 1.部件及子系统加工 （1）半导体加工技术 （2）硅微机械加工技术 （3）集成光学技术 （4）厚膜－薄膜技术 （5）纳米技术 （6）激光加工技术 2.系统的集成 （1）硅加工－机械加工 （2）键合－粘接、焊接、封接 （3）接线－焊接连线 （4）基底－激光打孔 3.硅微机械加工技术 是集成电路工艺和微机械加工技术的结合，用于微机电系统（MEMS）的加工，包括： （1）薄膜生长技术 （2）腐蚀技术 （3） LIGA技术 （4）牺牲层技术 （5）束加工技术 LIGA技术是X射线光刻、电铸成型和塑料铸模三个手段顺序组合，进行操作的一种新技术。 用LIGA技术进行微机械加工，可以制造较高深宽比的结构，宽度可小到1μm，深度可达数百μm，甚至mm级，非常适合于制作复杂