8《与测试方法》---电子与物质的交互作用解释.pptVIP

* * * * * * * * * * * * 如上图所示，在铅/锡合金样品的二次电子图像上，可观察到表面起伏的形貌信息；在被散射电子图像中，可观察到不同组分的分布情况，在铅(原子序数为82)富集的区域亮度高，而锡(原子序数为50)富集的区域相对较暗。 * * 背散射电子激发区域大，空间分辨率低，只能达到100nm 。 背散射电子能量大，运动方向不易偏转，检测器只能接收一定方向上的及较小立体角范围内的电子，信号收集率较低。 * * * * ① ② ③ ④ * * 轻元素及超轻元素的X射线产额低，而俄歇电子产额高，用于成分分析灵敏度远高于X射线。 俄歇电子激发区域小，能够保持其特征能量而逸出表面的俄歇电子只限于表层以下1nm以内的深度范围。因此，俄歇电子可用于样品表面、晶界或相界面处的成分分析。 * * * * The mass and thickness contrast of InxGa12xAs QDs on a GaAs surface. * * * * * 试样 透射电子 入射电子 透射电子显微镜 吸收电子 背散射电子 二次电子 电子探针仪 扫描电子显微镜 衍射电子 电子衍射仪 俄歇电子 轫致辐射 X射线 X射线衍射仪 阴极荧光 俄歇电镜 电子与物质相互作用产生的信息及相应仪器 * 1、电子与物质相互作用产生各种物理信号 2、主要讲解：二次电子、背散射电子、俄歇电子、透射电子 * 1. 电子与物质相互作用可以得到哪些物理信息？ 2. 什么是二次电子？其产额与什么因素有关？ 3. 什么是背散射电子？其产额与什么因素有关？ 4. 什么是质厚衬度？它与哪些因素有关？ * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * High Resolution HRTEM Atomic arrangement * * * * * * * * * * * ------原子的最外层电子（价电子）被电离出来变成二次电子的过程。 ------原子的内层电子被电离出来变成二次电子的过程。 价电子激发所需的能量比芯电子激发所需的能量小得多，故价电子的激发几率远大于内层电子的激发几率。 * * * 在Ip不变的条件下，当样品表面不平时，入射角θ不同，二次电子的强度相应改变，用检测器检测样品上方的二次电子，则得到形貌衬度图像，这种图像就能反映出样品表面形貌特征。 * * * * β—Al2O3试样高体积密度与低体积密度的形貌像 2200× * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * *