昆明理工大学调研范文.doc

昆明理工大学毕业设计（论文） 调 研 报 告 题 目：三维微纳米精密位移平台及微小力系统设计 学 院： 机电学院 专 业： 机械工程及自动化 年级班级： 10级2班 学生姓名： 李雪洁 学 号： 201010301253 指导教师： 杨晓京 日 期： 2014年4月 昆明理工大学 0 引言 走进二十一世纪，随着微电子技术、航空航天技术、集成电子制造和生物工程等高新技术的发展，制造技术对加工精度和加工质量提出了更高的要求。在激烈的国际竞争中，精密加工和超精密加工技术和装备，直接影响着很多具有重要战略意义的先进技术产品的制造。精密精工甚至是超精密加工技术是先进制造技术领域的前沿课题，它对国防、航空航天、核能以及国民经济各高新技术领域的精密零件的研制具有关键作用，是发展国防以及先进装备制造业的基石，因此受到各工业发达国家的重视。而高质量的微进给系统是实现精密加工的关键。 随着科学技术的发展，目前常见的微进给机构的实现方式有很多种，一般是利用弹性形变、直线电机、机械传动、电磁力和智能材料（压电陶瓷、电致伸缩、磁致伸缩）等实现微进给。而利用压电陶瓷的逆压电效应驱动的微位移平台凭借着比其他致动器更多的优点，迅速占领了微进给平台的市场。 1 微位移平台研究的背景和目的 随着科学技术的发展，现代制造业正以崭新的面貌出现在世人面前。为了满足国家和社会的发展要求，现代制造业正从生产率和精度两个方面受到新的挑战。各类产品和各种装备对加工精度的要求越来越高，精密加工和超精密加工技术已经成为现代制造技术的关键技术之一，是一个国家的国力和科技水平的重要标志。在十多年的时间内，科技迅速的迅速发展使得机械加工精度提高了1-2个数量级，即从六十年代的微米级提高到目前的0.1到0.01微米级，现在又正向纳米级发展。 精密和超精密加工技术在国防工业、信息产业和民用产品中都有着广泛的应用前景。在国防工业中，导弹陀螺仪的质量直接影响其命中率，1Kg的陀螺转子，其质心偏离对称轴0.0005微米，就会引起100米的射程误差和50米的轨道误差；此外，天梯望远镜的透镜、红外线特测器的反射镜、激光核聚变用的曲面镜等都是靠超精加工才能制造的。在信息产业中，计算机芯片、磁盘和磁头、复印机的感光鼓等都要经过超精密加工，包含纳米加工才能达到要求。民用产品中，如隐形眼镜就是利用超精密加工而成的。从上述例子可以看出，超精密加工技术直接影响着很多具有重要战略意义的先进技术产品的制造，是发展国防及先进装备制造业的基石，因此许多发达国家将将此列入国家发展计划研究的重点，为了缩小与发达国家在先进制造业技术上的差距，我国也在本世纪初将对超精密和纳米加工列为国家目标。而作为提高加工精度和实现精密制造技术发展的关键技术之一，目前，对于微位移平台技术的研究已经迫在眉睫。 2 课题研究现状 2.1 微位移平台的研究现状 随着压电、电致、磁致以及静电等微动执行元件的出现和发展，极大地推动了微位移平台技术的发展。目前，常用的微位移机构主要有以下几种形式： (1)弹性变形微位移机构 弹性变形微位移机构的工作原理是利用传动弹簧与平行板弹簧的刚度差，将输入位移进行大幅度缩小后作为输出位移输出，以提高输出位移的分辨率。移动范围为几十微米到几十纳米，定位精度可达0.1微米以上，目前已应用在X射线曝光机上。 (2)磁致伸缩微位移机构 磁致伸缩微位移机构是利用铁磁材料在磁场的作用下产生微伸长运动来实现的。通常选用不同长度的磁致伸缩材料棒或管，和改变通入线圈电流的强度，即可获得精确的微小定位。常用的磁致伸缩材料有：纯镍、铁股镍合金、铁镍和铁钴合金等，其中以纯镍的磁变效应最为显著。由于金属材料的磁致伸缩性能稳定，故可获得精度很高的微量步进进给，但磁致伸缩位移机构只能做间歇的进给运动。 (3)热膨胀微位移机构 热膨胀微位移机构是利用热膨胀的原理实现微量进给的。其结构特点是结构简单，操作控制方便。但由于转动杆与周围介质有热交换，而影响位移精度；由于有热惯性，限制了传动杆的快速动作，若隔热不合理，会引起邻近部件热变形，影响加工精度，亦影响了它的应用范围。 (4)械传动微位移机构 常用的机械传动微位移机构有螺旋传动、螺旋—斜面传动，螺旋—杠杆传动，齿轮—杠杆传动，蜗轮—凸轮传动，摩擦传动以