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天津理工大学 研究生课程论文（作业）封面 （ 2012 至 2013 学年度 第 1 学期） 课 程 名 称： 材料科学与工程前沿讲座 论 文 题 目： 气敏半导体材料的研究进展 学 生 姓 名： 专 业 名 称： 材料物理与化学 学 号： 年 级： 级 成 绩：__________________ 教 师 签 字：__________________ 评 阅 日 期： 年 月 日 气敏半导体材料的研究进展 --前沿讲座听课心得 摘 要 本文主要阐述了气敏半导体材料材料的定义、分类、性能、工作原理，综述了气敏半导体材料在相关领域的应用及其研究进展，并就其发展方向提出了一些简单看法。 关键词 气敏传感器；功能陶瓷；原理；发展 大气是人类赖以生存的重要外界环境因素之一。大气的正常化学组成是保证人体生理机能健康的必要条件, 但是, 随着现代工业的高速发展和人们生活水平的显著提高, 人们使用和接触的气体越来越多, 而那些易燃、易爆、有毒气体和废气不仅威胁到人们的生命财产,而且还直接影响到人类的生存环境, 因此, 有效地对这些气体进行检测、监控和报警成为迫切的任务。气体传感器就是适应这些需要而发展起来的。 半导体气敏陶瓷传感器具有灵敏度高、性能稳定、结构简单、体积小、价格低、使用方便等特点，气敏半导体陶瓷元件在日本、美国等国家发展很快，特别是日本，1988年产量约2000万件，其中日本费加罗技研株式会社的SnO，半导体气敏器件(TGS)年生产能力1200万件，行销世界上40多个国家和地区，产值23亿日元。近年来我国也有许多厂家生产气敏陶瓷元件，1988年产品投放市场10万件，主要是氧化锡系、氧化铁系烧结型的，用于检测石油液化气、煤气、酒精等。 一、气敏半导体材料材料的定义、分类 气敏半导体材料，亦称气敏陶瓷，是用于吸收某种气体后电阻率发生变化的一种功能陶瓷。它是用二氧化锡等材料经压制烧结而成的，对许多气体反映十分灵敏，可应用于气敏检漏仪等装置进行自动报警。在生活中，它是应用越来越多，可保障人们的生命财产。 半导体气敏陶瓷一般可以分为表面效应和体效应两种类型。按制造方法和结构形式，可分为烧结形、薄膜型及厚膜型。但通常气敏陶瓷是按照使用材料的成分划分为SnO2、ZnO、Fe2O3等系列。 二、气敏半导体材料的性能、工作原理 利用半导体陶瓷元件进行气体检测时, 气体在半导体上的吸附和脱吸必须迅速, 工作温度至少在100℃以上才会有足够大的吸脱速度,因此, 元件会在较高温度下长期暴露在氧化性或还原性气氛中工作。所以要求半导体气敏陶瓷元件必须具有物理和化学的稳定性。除此之外, 气敏元件还要求具有以下主要特性气体选择性初始稳定、气敏响应和复原特性灵敏度及长期稳定性。 半导体气敏陶瓷是利用半导体陶瓷与气体接触时电阻的变化来检测低浓度气体的。半导体表面吸附气体分子时，其电导率将随半导体类型和气体分子种类的不同而变化。气体吸附一般分物理吸附和化学吸附两大类。前者吸附热低，可以是多分子层吸附，无选择性，后者吸附热高，只能是单分子吸附，有选择性。在一般情况下，物理吸附和化学吸附同时存在。在常温下物理吸附是吸附的主要形式。随着温度的升高，化学吸附增加，至某一温度达到最大值。超过最大值后，气体解吸的几率增加，物理吸附和化学吸附同时减少。 三、几种气敏半导体材料的发展概况 1.SnO2气敏陶瓷 SnO2气敏陶瓷传感器至今仍是应用最广和性能最好的一种。它是一种表面控制型气敏材料，其比表面越大，越有利于气体吸附与表面反应，越容易获得灵敏度高、选择性好的气敏元件。目前仍在进行大量研究工作，以对它改性或改变制作工艺方法来提高性能，通过掺杂活性物质(如Pt、Pd、In、Ga等))提高灵敏度，如添加ThO，可大大提高对CO吸附的灵敏度，而抑制对H2、C3H8和I—C4H10的灵敏度。另外，尚可添加Al203、Sb203，、Mg0、Ca0和PbO等添加物以改善烧结、老化及吸附等性能。而其纳米晶材料由于具有粒度小、比表面大的特点，可望大幅度提高材料的气敏性能，很多学者对纳米晶SnO2进行了研究，索辉等发现通过溶胶凝胶法制得的SnO2具有很好的乙醇敏感特性。 近年来，采用集成电路工艺把超微粒薄膜加热器测温二极管一起集成在硅衬底上，制成对还原性气体的灵敏度比常