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第四章 电阻应变式传感器 问题: 哪个是敏感元件? 哪个是传感元件? 传感元件的工作原理是什么? 传感元件和弹性体的关系是什么? 传感元件测量的是什么参数? 动态响应特性? 信号调理电路如何设计? 本章主要内容 电阻应变片工作原理 电阻应变片的种类、材料和性能参数指标 动态响应特性 温度误差及其补偿方法 电桥原理 几种应变式传感器的工作原理 §4.1 电阻应变效应 应变片的外形 §4.2 电阻应变片 一、基本结构组成 敏感栅:栅状,要求灵敏系数大、温度系数小,如:康铜、镍铬合金等。 基底和盖层(保护层):纸质或胶质。要求机械强度高、绝缘性好、抗潮、耐热。厚度0.03~0.06mm. 粘结剂:粘结力强、机械性能可靠。如:硝化纤维素、聚脂树脂、氰基丙稀酸等。 引线:低阻镀锡铜线。 二、应变片的类型 金属丝式应变片:制作简单、性能稳定。 金属箔式应变片:利用照相制版或光刻技术,将厚约为0.003~0.01mm的金属箔片制成敏感栅。 金属薄膜应变片:金属薄膜应变片是是采用真空蒸发或真空沉积等方法,在薄的绝缘基片上形成厚度在0.1μm以下的金属电阻材料薄膜的敏感栅。 半导体应变片:采用半导体材料制作。 金属箔式应变片 尺寸小、图形准确 横向灵敏度小 容许电流大 疲劳寿命长 生产效率高 半导体应变片 应变片的粘贴 准备工作:对弹性元件的表面进行处理 粘贴应变片 连线组桥 复查 固化 §4.

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