去磷硅玻璃清洗设备v10.docVIP

Ver 3.20 2009/04/28 CUC Technology 技 术 规 格 书 全自动去磷硅玻璃清洗设备 对本规格书所记载内容进行确认后，请在下面署名栏中签字确认。 （用户）： （日期）： 北京中联科利技术股份有限公司 （供应商）： （日期）： 北京中联科利技术股份有限公司 市 场 部： TEL：_________ FAX：________ 总设计师： TEL：_________ FAX：________ 技 术 部： TEL：_________ FAX：________ 设备名称 全自动去磷硅玻璃清洗设备 清洗设备简图 设备主要技术规格 设备描述 该清洗机是一个工控机自动控制的全自动清洗系统，操作者只须将装有工件的清洗篮放置于自动上料台，再由机械手依次将工件输送到各个工位，按照事先输入的程序对Si电池片进行扩散后清洗及干燥处理。 技术参数 设备外形尺寸：LxWxH=________× _______×__________； 被清洗硅片：125*125*0.2mm/156*156*0.2mm 生产能力：1600片/小时(156*156*0.2mm) 每批 200片/篮 (23H/D, 330D/Y) 节拍: 10min 片盒尺寸: 25片片盒 8篮/批（根据客户需求定制） 50片片盒 4篮/批 100片片盒 2篮/批 （根据客户需求定制） 200片片盒 1篮/批 （根据客户需求定制） 处理最大重量: 40Kg 设备组成 设备组成：清洗设备主体、移载机械臂、排风系统、电控及操作面板等组成，设备工艺流向采用“左进右出”，也可以根据顾客的需求进行改动。 工艺流程 a）工艺流程 －＞1# 上料 －＞2# HF 处理 －＞3# QDR清洗（DI水） －＞4# OF清洗、慢提拉（热DI水） －＞5# 烘干 －＞6# 下料 b）工艺描述 工序 药液 温度 时间 循环 辅助 材质 自动盖 排风 1 自动上料台 2 酸洗 HF RT 10s 有 自动补液 PP 有 有 3 QDR/OF清洗 DI 水 RT 7.5min / N2鼓泡 PP / / 4 OF清洗、慢提拉 DIW,HF 60℃ 10mins 有 自动补液 PP 有 有 5 烘干 N2 80℃ 10mins 氮气加热 316+防锈处理 有 / 6 自动出料台 注：所有DIW工艺槽均为自动进液，所有排液阀均为自动阀。 5.设备特点 全程自动化控制，工艺过程中没有人工干预，保证产品性能的一致性； 酸洗工艺槽自动循环功能，确保药液的均匀； QDR工艺的应用，保证了药液槽之间的隔离效果和清洗的高洁净度； 机械臂的横向移动和纵向提升均采用进口伺服马达，闭环控制，定位精度≤0.3mm；采用双导轨结构及线性模块传动，机械臂升降部及悬臂部均用PP包覆，确保机械臂寿命；冲击小，运动平稳；机械手带喷雾功能； 提篮设计精巧，槽体间转移时不残留液体； 优化配管设置，节约DIW消耗量； 工艺柔性化设计，工艺更改方便迅速； 多级别用户工艺数据库，可供用户使用和存储； 机械手单独急停开关、系统急停开关和机械手电机自动过载保护等多重保护，确保操作者的安全。 6.各部分构成 机械臂上下运动 升降马达 日本YASKAWA伺服马达 传动方式 进口精密滚珠丝杠 升降导轨 进口精密线性导轨 位置检测 内置编码器 说明 升降部及提钩部均用PP板包覆 数量 1套 机械臂横向移动 横向移动马达 日本YASKAWA伺服马达 传动方式 同步带轮、同步带 导向 进口导轨（双导轨） 位置检测 内置编码器 、外置位置检测 数量 1套 HF储液箱 材质 PP 药液循环 PP离心泵自循环系统 药液配备 人工配比/人工浓度管理 测量元件 2个液位传感器 数量 1套 框架 碳