薄膜材料的表征方法精选.ppt

第六章 薄膜材料的表征方法 第一节 薄膜厚度测量技术 第二节 薄膜结构的表征方法 第三节 薄膜成分的表征方法 第一节 薄膜厚度测量技术 一、薄膜厚度的光学测量方法 二、薄膜厚度的机械测量方法 一、薄膜厚度的光学测量方法 1、光的干涉条件 2、不透明薄膜厚度测量的等厚干涉条纹（FET）和等色干涉条纹（FECO）法 等厚干涉条纹的测量装置如图（a）所示。 3、透明薄膜厚度测量的干涉法 在薄膜与衬底均是透明的，而且它们的折射率分别为n1和n2的情况下，薄膜对垂直入射的单色光的反射率随着薄膜的光学厚度n1d的变化而发生振荡，如图中针对n1不同，而n2=1.5时的情况所画出的那样，对于n1n2的情况，反射极大的位置出现在 二、薄膜厚度的机械测量方法 1、表面粗糙度仪法 3 石英晶体振荡器法 第二节 薄膜结构的表征方法 一、简 介 二、扫描电子显微镜 三、透射电子显微镜 四、X射线衍射方法 五、低能电子衍射（LEED）和反射式高能电子衍射 （RHEED） 六、扫描隧道显微镜（STM） 七、原子力显微镜（AFM） 一、简 介 二、扫描电子显微镜Scanning Electronic Microscope (SEM) 2、背反射电子像 如图（b）所示，除了二次电子之外，样品表面还会将相当一部分的入射电子反射回来。这部分被样品表面直接反射