薄膜力学性能精选.pptVIP

定 义 用物理的、化学的、或者其他方法，在金属或非金属基体表面形成一层具有一定厚度(小于 )的不同于基体材料且具有一定的强化、防护或特殊功能的覆盖层。 分 类 4.1 薄膜的弹性性能 一、薄膜的弹性常数 三点弯曲 如图所示，加载和挠度的测量均在两支点中心位置，两支点的跨距为 ，载荷增量 与中心挠度增量 的关系为 单面镀膜的膜基复合薄板的抗弯刚度 为 压痕法 纳米压痕技术可用以测定薄膜的硬度、弹性模量以及薄膜的蠕变行为等，其理论基础是Sneddon关于轴对称压头载荷与压头深度之间的弹性解析分析，其结果为 为约化弹性模量 二、薄膜的应力应变关系 1. 拉伸法 2. 压痕法 4.2 薄膜的残余应力 一、残余应力的来源 薄膜—基底体系中由于晶格常数失配在薄膜中产生的内应力由Hoffman的晶界松弛模型得到 二、残余应力的测量 1. Stoney公式 Stoney公式广泛应用于计算薄膜的残余应力，但使用时应明确该公式的适用范围， Stoney公式采取了如下假设 2.多层薄膜的情形 小变形时 和 分别为 4. 一级近似的薄膜应力梯度分布 实际上，薄膜应力在厚度方向是有梯度的。通常，薄膜的单轴应力沿厚度方向的分布可用多项式表示为 X射线衍射法测量残余应力中最