Fab2超净车间Cpk分析(阅读).ppt

Copyright @2010 Altusvia Energy Co., Ltd. All rights reserved. Add 88 Pingjiang Road , Taicang Port Development Zone, Jiangsu P. R.China,215434 江苏太仓港港口开发区平江路88号 Tel +86-512-座机电话号码 Fax +86-512-座机电话号码 奥特斯维能源太仓）有限公司 Altusvia Energy Co., Ltd. Copyright @2010 Altusvia Energy Co., Ltd. All rights reserved. Copyright @2010 Altusvia Energy Co., Ltd. All rights reserved. Add 88 Pingjiang Road , Taicang Port Development Zone, Jiangsu P. R.China,215434 江苏太仓港港口开发区平江路88号 Tel +86-512-座机电话号码 Fax +86-512-座机电话号码 奥特斯维能源太仓）有限公司 Altusvia Energy Co., Ltd. Cpk分析 * 背景 Fab2车间Cpk不达标炉管： 26周：4C、5A、6B 27周：1D、8A、10D、11C 28周：1B、1D、3C、5B、7B、8B、10C 1#-9#扩散炉（10#-11#研发试验线）三周Cpk总体呈下降趋势； * Cpk趋势 从Cpk趋势上看，1#-9#扩散炉（10#-11#研发试验线）三周Cpk总体呈下降趋势，而12#-16#扩散炉无明显趋势； 1-9#扩散炉三周Cpk平均值为1.47,12#-16#扩散炉三周Cpk平均值为1.65； * Cp、k趋势 从Cp趋势上看，1#-9#扩散炉（10#-11#研发试验线）三周Cp总体趋势与Cpk保持一致，而12#-16#扩散炉无明显趋势； k值无明显趋势，且1#-9#与12#-16#扩散炉无明显差异； * 1#、2#四探针差异 LN2进气管差异 1#-9#与12#-16#扩散炉Cp差异 原因分析 可能造成两边Cp差异的因素： 1、1#与2#四探针测试存在差异； 2、1#-9#扩散炉LN2进气管位置较12#-16#扩散炉均较差（已确认无明显差异）； * 7月9日四探针对比 7月6日，取6片硅片，分别用1#、2#四探针测25点，对比两台四探针测试差异： 1、测试值分别为59.03ohm、59.42ohm，相差0.39ohm，在允许范围内； 2、标准差分别为2.46、2.37，相差约为0.1； 根据多晶Cp计算方法：Cp20/6*STD，由于1#四探针测试标准差较大，会对1#-9#扩散炉Cp造成约0.06-0.07的影响； * 7月11日四探针对比 7月11日，取6片硅片，分别用1#、2#四探针测25点，对比两台四探针测试差异： 1、测试值分别为56.78ohm、58.57ohm，相差1.79ohm； 2、标准差分别为2.76、2.38，相差约为0.38； 根据多晶Cp计算方法：Cp20/6*STD，由于1#四探针测试标准差较大，会对1#-9#扩散炉Cp造成约0.25-0.30的影响； * 结论 1#四探针与2#四探针测试值存在差异，1#测试值偏低； 1#与2#四探针测试标准差存在差异，导致1#-9#扩散炉Cpk较低； Thank You Copyright @2010 Altusvia Energy Co., Ltd. All rights reserved. Add 88 Pingjiang Road , Taicang Port Development Zone, Jiangsu P. R.China,215434 江苏太仓港港口开发区平江路88号 Tel +86-512-座机电话号码 Fax +86-512-座机电话号码 奥特斯维能源太仓）有限公司 Altusvia Energy Co., Ltd. Copyright @2010 Altusvia Energy Co., Ltd. All rights reserved. Copyright @2010 Altusvia Energy Co., Ltd. All rights reserved. Add 88 Pingjiang Road , Taicang Port Development Zone, Jiangsu P. R.China,215434 江苏太仓港港口开发区平江路88号 Tel +86-512-座机电话号码 Fax +86-512-座机电话号码 奥特斯维能源太仓）有限公司 Altus