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１．特　徴 自動キャリブレーション あらゆるカメラ向きに対応 様々な軸テーブルに対応 軸テーブルと直接接続して制御する 　（モーションユニット内蔵） 一回目から高精度アライメント 完成度の高いアライメントソフトが 　内蔵されており、装置の稼動が早い モニター画面を見ながら、簡単に操作 選べるサーチ手法 高速処理 自動Calibration 説明：カメラの取り付け位置を自動的に高精度検出する機能 Calibration操作 あらゆるカメラ向きに対応 様々な軸テーブルに対応 4軸テーブル特徴 軸テーブルを直接制御（控制） 2．LCD 液晶パネルの（面板）応用事例 液晶画面断面図 2.1　露光機 － 工　程 － 1.ステージにガラス基板を供給 2.ターゲットとなるマークを検出 3.アライメント 4.最終精度を確認 5.ＵＶ照射して露光 6.ガラス基板を排出 2.2　ガラス貼合機 2.3　点灯検査機 2.4　ACF貼合機 2.5　その他 シール剤塗布機 ダイジングカット機 スクリーン印刷機 FPC貼付機 基盤穴明機 COGマウント 3.　システム構成例 FV-aligner-ENG ?位置合わせに必要な数値だけを出力する画像処理エンジン ?軸制御部分は自由に構築可能 * * Calibration基準： 検出基準Markの位置（図）ＵＶＷテーブル： 白い→モーター停止　水色→モーター動作 ＋：テーブルの中心 FAST特許 X方向シフト Y方向シフト ＋θ回転 －θ回転 マーク中心 ＋θ回転 マーク中心 －θ回転 光軸向き不問 光軸の傾き不問 位置不問 光軸周りの回転不問 視野の違い不問 1～4台 XYθテーブル UVWテーブル Xθ+Yテーブル Ｙ１ Ｘ１ Ｘ２ Ｙ２ 4軸テーブル 全方向で高剛性を保持 テーブル高精度移動 新アルゴリズムを搭載 Ｙ１ Ｘ１ Ｘ２ Ｙ２ 相机与镜头 FV-aligner XPe/P3-800 UNT 显示器 PLC FV-aligner-UNT 电机驱动器 4軸ステージ トラック ボール ガラス基板Ⅱ 電極 フレキシブル基板 液 晶 カラーフィルター ガラス基板Ⅰ シール剤 液晶画面 ステージ UVランプ カメラ ガラス基板 マスク 玻璃基板 － 工　程 － 1.ガラス基盤のマークをカメラ 　視野に入れる 2.ターゲットとなるマークを検出 3.ステージにガラス基板Ⅰを供給4.ガラス基板Ⅰのマークを検出＆ 　アライメント 5.ガラス基板ⅠⅡを貼り合わせ 6.ガラス基板ⅠⅡを排出 ステージ カメラ ガラス基板Ⅰ シール剤 ガラス基板 ガラス基板 吸着ヘッド － 工　程 － 1.ターゲットとなるマークを検出 2.ガラス基板ⅠⅡをステージ上に 　供給 3.ガラス基板ⅠⅡのマークを検出 　＆アライメント 4.点灯検査 5.ステージからガラス基板ⅠⅡを 　排出 ステージ ガラス基板 ガラス基板ⅠⅡ ガラス基板 ガラス基板ⅠⅡ 検査機 ステージ ガラス基板ⅠⅡ － 工　程 － 1.サンプルガラス基板のアライメントマークをターゲット 　 加熱加圧ヘッド 導電性テープ カメラ ガラス基板ⅠⅡ 4.導電性テープを貼り付け 5.ガラス基板①②を排出 2.ガラス基板ⅠⅡをステージ上に供給3.アライメントマークを検出＆アライメント FV-aligner-UNT ?画像認識から移動量をパルス数に換算し、軸制御までを実施 相机 FV-aligner-ENG 可编程控制器 轴驱动程序 和 马达 指示 移動量 カメラ FV-aligner-UNT シーケンサ等 軸ドライバ ＆ モータ 指示