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机械系统与信号处理 基于三角形结构的压电驱动机构对压电驱动器滞后作用的结构响应研究 文章信息 文章来源：2012年6月21日收到；2012年10月8日收到修改稿；2012年10月16日被接收；2012年11月22日上传网上； 关键词：压电机构、滞后效应、本构方程、结构响应、有限元分析、动态分析 摘要： 一种新的以压电为基础的机制被提出，同时也建立了模型和被测试。这种机制基本上被设计成周期性地作用于同一个从动接触表面。位于901对角上的两个压电元件，用于建立具有相位差机制的尖端椭圆运动。 为了确保实现所指定的椭圆运动，一个动态分析系统被应用到了一个与外部负载有关的压电元件的动态响应相联系的本构方程上。然而，众所周知，压电材料受到的滞后是非线性，从而导致本构方程，不能直接实现。在另一方面，本构方程已经在忽略压电材料的滞后作用是非线性的条件下被推导出。 在本文中，压电致动器的磁滞效应被考虑在表征和建模结构的动态响应上。该结构的轨迹输出使用有限元方法，当激磁输入到模型中时，对掺入的磁滞特性进行模拟，这是根据建议的方案模拟的。仿真结果真实可靠，模拟出了从50赫兹至200赫兹相对低的频率范围的机制前端的轨迹。 1.介绍 近年来，各种类型的压电型机制已被设计和开发出来，为工业领域提供了超精密的定位系统，如半导体设备、生物医学设备、表面扫描设备和存储介质的系统等。这种类型的机制被提及有其特殊的原因 ，具体原因如响应速度快，微/纳米的定位分辨率和复杂度比电或磁机制的产品更低。许多研究者试图研究和定性这一动态行为机制，包括压电效应，在微/纳米定位上特别应用等。 调研了基于一个拱状超声波马达的动力性能上采用有限元法（FEM）的方法。测量位移的电机有限元模型位移产生的比较显示20%的差异，这是由于三的潜在的合规性嵌入在电机装配的压电致动器的来源。为了评估一个双晶片型压电电机的动态行为，提出了一个线性动态模型在这项工作中，摩擦模型用于考虑摩擦的影响模拟接触部分作为一种非线性元件的结合实现线性动态模型研究了一四条腿走路压电马达动态响应。 基于拉格朗日系统的线性输出的动力学方程，模拟了采用线性本构方程压电致动器，理想协议的理论和实验结果，正弦和非对称波形的输入被施加到每个尖端的腿之间。另一种设计，机电转换函数推导出了考虑整个系统，包括其稳定性的动态特性的超声波轮系统这个传递函数是基于控制线性本构关系的一般概念得到了用于驱动压电动器的方程。在不同的设计，一个压电旋转电机的弯曲变形是通过对系统参数的波动方程和线性假设提出了一个基于非完整动力学的新的球形多自由度超声电机动力学模型。另一种方法是由狄维士等人所使用的。利用频响函数估计的平面压电驱动器的动态响应。基于三自由度柔性并联机构的动态建模的微/纳米操纵无论用于建模的压电致动器[ 本构方程。在控制框架，利用神经网络磁滞模型逆使一些研究人员设计用于识别和基于机制压电控制的创新策略。 在这项研究中，压电驱动机理提出创建一个滑块的直线运动。此机制的压电动器的动态特性是在较低的范围为50赫兹和200赫兹之间测得的，基本的目的表征动器的磁滞效应。，考虑致动器的磁滞与压电动器的线性本构方程。根据这种关系，由致动器提供的位移量在接触点的动器和该机制的结构之间的关系。使用这些值和基于有限元的结构模型，该机构的末端执行器的方向的轨迹估计。最后，仿真得到的变形值与通过对机构末端执行器的实验数据得到的值比。 本文分为五个部分。首先，提出了静态和动态下的基本线性本构方程。然后，基于二维压电驱动机理进行了全面的。在接下来的步骤中，动态建模的，其次是部分的实验结果和讨论。最后，本文的结论将在最后一节讨论。 压电动器的一维本构方程 压电材料可以用在两个不同的操作条件，即（I）直接效应和（II）逆效应。在直接效应，电荷物质。在逆效应，机械位移是由施加电场的压电致动器在相反的方式直接产生。这些影响可以数学表达式，确定电能转化为机械能，反之亦然。这些本构表达式可用于线性压电致动器沿其纵向轴线（33轴）： 其中S（M / M）是轴向应变，T（N／m2）是轴向应力，E（V / M）是电场，d（C／m2）是电位移，E是介电常数，（平方米/ N）是遵守和（的M / V）是压电致应变系数一般情况下，式（1）代表了反模式的动器的方程（2）是在直接模式的致动器的响应。商业的压电致动器，一些参数如，由厂家提供。内部的刚度和电场的层叠执行器可以由下面的关系，这利用本节后方程： 内部刚度的压电致动器，是执行器的横截面面积，是总致动器的长度，是应用于压电陶瓷的最大电压，是每一层的厚度层叠型压电致动器致动器的自由行程。 方程（1）至（5）基本上描述的机械和电气门只在静态