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2007.10 * 2007.10 * 2007.10 * 2007.10 * 2007.10 * 2007.10 * 2007.10 * 2007.10 * (2) 电阻应变式直线位移传感器 结构原理如下图 * 类 型 测量范围 精确度 线性度 特 点 电阻应变式 1~100mm 0.1% ±0.1%~±1.0% 精度较高，结构简单、性能稳定，不足之处是动态范围窄 (3) 电容式直线位移传感器 工作原理：平板电容器的电容C取决于极板工作面积S，极板间距d和介电常数ε，有如下关系： C = εS /d * 类 型 测量范围 精确度 线性度 特 点 电容式 变面积 变极距 10-3~100mm 10-3~10mm 0.005% 0.1% ±1% 结构简单、动态性能好、灵敏度和分辨率高；但易受温度、湿度变化的影响，测量范围较小，线性范围也小 2 角位移检测传感器 (1) 电阻式角位移传感器 * 类 型 测量范围 精确度 线性度 特 点 电阻式 滑线式 角位移 变阻器 角线位移 0°~360° 0.1% 0.5% ±0.1% ±0.5% 分辨率较高，可用于静、动态测量，机械结构不牢固 分辨率低、电噪声大，机械结构牢固 (2) 电容式角位移传感器 基本工作原理：动电极转动，改变极板面积。 * 类 型 测量范围 精确度 线性度 特 点 电容式 0~180° 0.005% ±0.2%~±1 % 精度高、结构简单、动态性能好、灵敏度和分辨率高；但易受温度、湿度变化的影响 4.1.6.2 转速、加速度传感器 检测转速的传感器有测速发电机、光电、磁电式转速传感器。 检测加速度可用电容式或压电式加速度传感器。 检测直线运动速度时，可以将直线运动变换成回转运动，然后再用转速传感器检测。采用数字型传感器检测位移时，也可同时检测运动速度。 * 1.光电式转速传感器 工作原理 n = 60N/Zt n—转速, rpm t –测量时间, s N ---t内的脉冲个数 Z --- 圆盘上的缝隙个数 * 2.反射光电式转速传感器 工作原理 n = 60N/Zt n—转速, rpm t –测量时间, s N ---t内的脉冲个数 Z --- 反射片个数 * 3.电容与磁电式转速传感器 工作原理 n = 60N/Zt n—转速, r/min t –测量时间, s N ---t内的脉冲个数 Z --- 齿轮的齿数 * 4 压电式加速度传感器 * 压电加速度传感器结构原理如右图所示。使用时，传感器固定在被测物体上，感受该物体的振动，惯性质量块产生惯性力，使压电元件产生变形。压电元件产生的变形和由此产生的电荷与加速度成正比。 压电加速度传感器可以做得很小，重量很轻，故对被测机构的影响就小。压电加速度传感器的频率范围广、动态范围宽、灵敏度高、应用较为广泛。 5 电容式加速度传感器 * 下图为一种空气阻尼的电容式加速度传感器。该传感器采用差动式结构，有两个固定电极，两极板之间有一用弹簧支撑的质量块，此质量块的两端经过磨平抛光后作为可动极板。当传感器测量垂直方向的振动时，由于质量块的惯性作用，使两固定极相对质量块产生位移，使电容C1、C2中一个增大，另一个减小，它们的差值正比于被测加速度。这种加速度传感器的精度较高，频率响应范围宽，可以测得很高的加速度值。 4.1.6.3 测力、力矩传感器 利用应变片可以制成应力传感器、力传感器和力矩传感器，还可将应变片直接贴在被检测部分来检测力、压力和力矩的大小，所使用的应变片有电阻丝式、金属箔式和半导体式。 （1）测力传感器 测力传感器按其量程大小和测量精度不同而有很多规格品种，它们的主要差别是弹性元件的结构形式不同，以及应变片在弹性元件上粘贴的位置不同。通常测力传感器的弹性元件有柱式、梁式等。 右图为柱式弹性元件 * * 转矩传感器 机器人手腕用力矩传感器原理 无触点力矩测量原理 4.1.6.4 位置传感器 位置传感器和位移传感器不一样，它所测量的不是一段距离的变化量，而是通过检测，确定是否已到某一位置。因此、它只需要产生能反映某种状态的开关量就可以了。位置传感器分接触式和接近式两种。 所谓接触式传感器就是能获取两个物体是否己接触的信息的一种传感器；而接近式传感器是