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ECV测试曲线的理解 ECV测试曲线的理解 3.不同表面浓度的磷在硅中的扩散分布 图f表示不同表面浓度的磷在硅中的扩散分布。当表面浓度较低时（对应于本征扩散区），扩散分布为余误差函数分布（曲线a）；表面浓度逐渐增加，杂质分布开始偏离简单的余误差函数（曲线b和c）；表面浓度很高时（曲线d），靠近表面的杂质分布和曲线b相似，但在浓度 处出现拐点，之后进入一个快速扩散区域。 ECV测试曲线的理解 C.实例分析 从图i中我们可以得到以下信息： （1）测试曲线N1的结深（0.40um）大于N2的结深（0.30um）； （2）测试曲线N1的表面浓度大于N2的表面浓度； （3）在0-50nm范围内测试曲线N1的浓度梯度大于N2的浓度梯度，因此，曲线N1对烧结温度的要求要高于N2； （4）测试曲线N1的结区有效掺杂量小于N2的结区有效掺杂量，所以一般N2的开路电压和短路电流要优于N1； （5）由前述分析知道： S绿+S红=S蓝+S绿 所以，N1和N2的方块电阻值相同； ECV测试原理及相关分析 工艺部 王永伟 ECV测试原理 内 容 简 介 ECV背景介绍 ECV测试常见问题及分析 ECV测试曲线的理解 第一部分ECV背景介绍 ECV背景介绍 对于半导体器件的设计和制造而言，器件中载流子浓度、掺杂厚度以及杂质分布都是必须严格控制的参数，就要求对载流子的浓度及分