表面分析技术：第三章 扫描电子显微分析.ppt

第三章 扫描电子显微分析 电子束与固体样品作用时产生的信号 扫描电镜发展简史 扫描电镜工作原理及构造 形貌分析简介 形貌是表面分析的重要组成部分，主要分析表面几何形貌，颗粒度以及颗粒度的分布等方面。 扫描电子显微镜 透射电子显微镜 扫描隧道显微镜 原子力显微镜 Multilevel interconnections in an SRAMproduced in 0.35 μm technical 3.1 电子束与固体样品作用时产生的信号 散射 当一束聚焦电子沿一定方向射到样品上时，在样品物质原子的库仑电场作用下，入射电子方向将发生改变，称为散射。 原子对电子的散射还可以进一步分为弹性散射和非弹性散射。 在弹性散射中，电子只改变运动方向，基本上无能量变化。 在非弹性散射中，电子不但改变方向，能量也有不同程度的衰减，衰减部分转变为热、光、X射线、二次电子等。 可见原子序数越大，电子的能量越小，距核越近，则散射角越大。 一般说来，原子对电子的散射远较对X射线的散射为强，因此电子在物质内部的穿透深度要较X射线小得多。 电子束与固体样品作用时产生的信号 电子束与固体样品作用时产生的信号与应用 二次电子：外层价电子激发(SEM 表面形貌分析) 背散射电子：被反弹回来的一部分入射电子 (SEM表面形貌及成分衬度像（粗略) 吸收电子(SEM) 透射电子（TEM 微区的组织形貌、结构分析） 俄