第三次课 压电效应.ppt

第三次课 压电效应 内 容 压电效应机理 主要压电材料及其性能表征 MEMS中的主要应用 特点 晶体结构没有对称中心。 压电体是电介质。 其结构必须有带正负电荷的质点。即压电体是离子晶体或由离子团组成的分子晶体。 压电特性的矩阵表示 压电效应能量转换的几种基本形式 石英晶体是各向异性晶体 存在右（左）旋晶体 外形规则 石英晶体的三个晶轴 光学轴（基准轴，Z轴）：光沿该方向通过没有双折射现象，该方向没有压电效应，光学方法确定。 电轴（X轴）：经过晶体棱线，垂直于该轴的表面上压电效应最强。 机械轴（Y轴）：垂直xz面，在电场作用下，该轴方向的机械变形最明显， 受到X方向的力—纵向压电效应 石英晶体的压电方程 在T1、T2、T3作用下 压电陶瓷压电方程 压电/逆压电效应可分为： 纵向效应、横向效应和切向效应； 压电式微传感器/执行器主要利用纵向效应； 可用于各种动态力、机械冲击与振动的测量, 以及声学、 医学、力学、宇航等方面都有非常广泛的应用。 压电式传感器在受外力作用时，在两个电极表面将要聚集电荷，且电荷量相等，极性相反。相当于一个以压电材料为电介质的电容器； 把压电式传感器等效成一个与电容相并联的电荷源或为一个电压源与电容串联。 不可避免地存在电荷泄漏； 静态或准静态测量时，必须采取一定措施，使电荷从压电元件经测量电路的漏失减小到足够小； 动态测量时，电荷可以不断补充，从而供给测量电路一定的电流，故适宜作动态测量。 在实际使用中，一般采用两片或两片以上压电元件组合在一起使用。 压电元件是有极性的，连接方法有两种：并联/串联。 内阻抗很高，而输出能量较小（电压/电荷信号）； 接入一个高输入阻抗的前置放大器（高输出阻抗变换为低输出阻抗；放大传感器输出的微弱信号）。 前置放大器有两种形式：电压放大器和电荷放大器。 压电MEMS最显著的优点就是通过适当的结构设计，可以在一个单元上兼具传感/执行元件的双重功能。 响应速度快，从微秒到毫秒的范围； 输出力大（和尺寸相比），可达数千帕； 微小位移输出稳定，非常适合制作微小致动器的元件，从纳米到微米级范围； 体积小，重量轻，刚性好，可以提高其固有频，得到较宽的工作频率范围； 灵敏度高，稳定性好，可靠。对应用纵向压电效应的传感器，电荷量与晶体的变形无关，因而灵敏度与传感器刚度无关； 有比较理想的线性，且通常没有滞后现象，同时控制机构技术已经成熟。 但是，低频特性较差，主要用于动态测量；存在横向效应，影响测量结果；应用中要求采取严格的绝缘措施，并采用低电容、低噪声电缆。而且，制作工艺比较复杂，和集成电路工艺兼容性不太好。 石英晶体的压电常数和表面电荷计算 在T4、T5、T6剪切应力作用下 在x面上产生电荷 在y面上产生电荷 在Z面上产生电荷 压电陶瓷的压电常数和表面电荷计算 x y z T1 T2 T3 y z T4 在T4作用下 x z T5 在T5作用下（d15≠0） 压电陶瓷变形形式： 厚度变形：d33 长度变形： d31 、d32 厚度剪切变形： d24、 d15 体积变形：d31 、d32 、d33 MEMS中的主要应用 压电式传感器的等效电路 压电式传感器的等效电路 压电式传感器的等效电路 电容量大，输出电荷量大，适用于测量缓变信号和以电荷为输出的场合； 电容量小，输出电压大，适用于测量高频信号和以电压为输出的场合，并要求测量电路有高的输入阻抗。 压电式传感器的测量电路 电压放大器电路简单便宜，但下限频率较高，灵敏度与电缆分布电容有关。 电荷放大器实际电路中，反馈电容量做成可选择的。电路复杂，价格昂贵。 MEMS应用特点 MEMS应用特点 压电效应机理 1880年居里兄弟在 石英晶体上发现了压电效应 20世纪40年代中期，压电材料开始广泛应用。 20世纪60-70年代达成熟阶段。 压 电 效 应 机械能转变为电能 电能转变为机械能 正压电效应 逆压电效应 电致伸缩效应 纵向压电效应 切向压电效应 横向压电效应 ① 压电效应——机械能转变为电能 某些电介质, 当沿着一定方向对其施力而使它变形时, 其内部就产生极化现象, 同时在它的两个表面上便产生符号相反的电荷, 当外力去掉后, 其又重新恢复到不带电状态， 这种现象称压电效应。 ● 顺（正）压电效应 当作用力方向改变时, 电荷的极性也随之改变。 把这种机械能转为电能的现象, 称为“顺（正）压电效应”。 压电效应现象 ② 逆压电效应--电能转变为机械能 当在电介质的极化方向施加电场，某些电介质在一定方向上将产生机械变形或机械应力，当外电场撤去后，变形或应力也随之消失，这种物理现象称为逆压电效应。 ③ 电致伸缩效应- --电能转变为机械能 电介质在电场的作用下会由于极化的变化而引起形