多层膜Laue透镜对10 keV硬X射线聚焦性能的理论计算.docVIP

多层膜Laue透镜对10 keV硬X射线聚焦性能的理论计算 　　摘要：采用NbC/Si材料组合设计多层膜Laue透镜，总膜厚为40 μm，利用衍射动力学理论分析多层膜Laue透镜对硬X射线的衍射效率及聚焦分辨率。通过两种方法提高多层膜Laue透镜的分辨率。第一种方式是减小膜层的最外层宽度，该方法要求结构必须是楔型结构，制备极其困难。第二种方法是使用多层膜Laue透镜的高级次，该方法在不增加制备难题的前提下能有效提高分辨率。通过使用多层膜Laue透镜的-3级次，对10 keV硬X射线获得了分辨率为6.72 nm，衍射效率为49.31%的聚焦光斑。 　　关键词：X射线； 多层膜Laue透镜； 衍射动力学； 衍射效率； 高级次 　　中图分类号： O 434 文献标志码： A doi： 10.3969/j.issn2015.06.014 　　Abstract：The dynamical diffraction theory is employed to analyze the diffraction efficiency and the resolution ratio of hard Xray waves inside the multilayer Laue lenses. The multilayer Laue lenses are made fro